主要特點(diǎn)
1、雙層石英管,專為生長(zhǎng)大尺寸薄膜石墨烯研制的,也應(yīng)用于有快速升溫需要的CVD實(shí)驗(yàn)。
2、安裝雙向?qū)е?,左右拉?dòng)爐體能保證讓樣品達(dá)到快速的升降溫。
技術(shù)參數(shù)
額定功率 | KW | 7 | ||||||
額定電壓 | V | AC 208-240V Single Phase,50/60 Hz | ||||||
溫度 | ℃ | 1200(1 hour) | ||||||
工作溫度 | ℃ | ≤1100 | ||||||
升&降溫速率 | ℃/S | ≤20 | ||||||
爐管尺寸 | mm | 高純石英管 異形內(nèi)管尺寸:Φ100×1000mm,外管尺寸:Φ130×1800mm | ||||||
加熱區(qū)長(zhǎng)度 | mm | 300+300+300 | ||||||
恒溫區(qū)長(zhǎng)度 | mm | 150+200+150 | ||||||
可移動(dòng)范圍 | mm | 1760 | ||||||
控溫方式 | | 模糊PID控制和自整定調(diào)節(jié),智能化30段可編程控制,具有超溫和斷偶報(bào)警功能 | ||||||
控溫精度 | ℃ | ±1 | ||||||
加熱元件 | | 電阻絲(進(jìn)口康泰爾電阻絲) | ||||||
法蘭 |
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質(zhì)量流量計(jì)量程 | 50sccm,100sccm,100sccm,200sccm.(量程可根據(jù)客戶要求配置) | |||||||
標(biāo)準(zhǔn)配置 | 石英管2根(內(nèi)管和外管各1根),不銹鋼密封法蘭1套,硅膠密封圈2套,莫來石管堵2只,高溫手套1副,坩堝鉤1支 | |||||||
可選附件 | 石英托架,石英舟,石英鉤,電阻真空計(jì),手動(dòng)擋板閥,波紋管,卡箍,真空泵,供氣系統(tǒng) | |||||||
認(rèn)證標(biāo)準(zhǔn) | ||||||||
尺寸 | mm | 1080×440×590mm (爐子) 2000×490×760mm(爐子+滑軌) | ||||||
包裝尺寸 | mm | 2070×570×1110(木箱包裝) | ||||||
凈重 | Kg | 195 | ||||||
毛重 | Kg | 260 |