全自動(dòng)氦質(zhì)譜檢漏儀
JL-142W(D)型是一款液晶觸摸
彩屏顯示的全自動(dòng)氦質(zhì)譜檢漏儀。主
要配置采用檢漏儀定制產(chǎn)品。設(shè)備內(nèi)
芯的制造借鑒技術(shù),整機(jī)設(shè)
置合理、性能穩(wěn)定。具有靈敏度高,
反應(yīng)快,開機(jī)時(shí)間短等特點(diǎn)。檢漏效
果達(dá)到水平。
主要技術(shù)指標(biāo)
1、真空模式小可檢漏率:5×10 -13Pa•m3 /s(5×10 -12mbal/s)
真空模式漏率顯示范圍:1×10 -1—1×10 -13Pa•m3 /s
2、吸槍模式小可檢漏率:5×10 -9Pa•m3 /s(5×10 -8mbal/s)
吸槍模式漏率顯示范圍:1×10 -1—1×10 -10Pa•m3 /s
3、啟動(dòng)時(shí)間:≤3min
4、響應(yīng)時(shí)間:≤0.5s
5、檢漏口的壓力:1500Pa
6、電源要求:220v,50Hz,單相,10A
7、工作環(huán)境:5-35℃
9、相對(duì)濕度:≤80%
9、外形尺寸:500(W)×400(D)×380(H)
10、重量:W 型 42kg,D 型 22kg
主要配置
1、德國普發(fā)檢漏儀分子泵(*)
2、W 為油式機(jī)械泵,D 為干式機(jī)械泵
3、定制檢漏儀電磁閥
4、閥體
5、原裝晶圓放大器
6、采用質(zhì)譜模塊
7、液晶觸摸彩屏
8、雙燈絲(氧化釔金絲),自動(dòng)調(diào)氦峰,自動(dòng)切換