中圖儀器SJ6000高精度機床激光干涉儀以光波為載體，具有測量精度高、測量速度快、測量范圍大、高測速下分辨率高等特點，其光波波長可直接對米進行定義并溯源至國家標準。因此，激光干涉儀廣泛應用于數(shù)控機床、PCB鉆孔機、坐標測量機、位移傳感器等精密儀器的質(zhì)量控制與校準以及科研開發(fā)、設(shè)備制造等領(lǐng)域。
產(chǎn)品功能
（1）可實現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉(zhuǎn)軸等幾何參量的高精密測量；
（2）可檢測數(shù)控機床、三坐標測量機等精密運動設(shè)備其導軌的線性定位精度、重復定位精度等，以及導軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等；
（3）可實現(xiàn)對機床回轉(zhuǎn)軸的測量與校準；
（4）可根據(jù)用戶設(shè)定的補償方式自動生成誤差補償表，為設(shè)備誤差修正提供依據(jù)；
（5）具有動態(tài)測量與分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等，可進行振動分析、絲桿導軌的動態(tài)特性分析、驅(qū)動系統(tǒng)的響應特性分析等；
（6）支持手動或自動進行環(huán)境補償。
產(chǎn)品配置
SJ6000激光干涉儀系統(tǒng)具有豐富的模塊化組件，可根據(jù)具體測量需求而選擇不同的組件。主要鏡組如下圖所列，依次為線性鏡組、角度鏡組、直線度鏡組、垂直度鏡組、平面度鏡組、自動精密轉(zhuǎn)臺。
主要鏡組圖
其中，線性鏡組為標配，由線性干涉鏡、線性反射鏡和夾緊孔座構(gòu)成?？蓾M足線性位移設(shè)備的定位精度、重復定位精度、反向間隙的測量與分析，以及反向間隙修正和螺距補償。
線性測量配置及使用方法
線性測量（線性軸位置精度測量的簡稱）配置主要由SJ6000主機、EC20環(huán)境補償單元、線性鏡組、SJ6000靜態(tài)測量軟件等組件構(gòu)成，可滿足0~80m范圍內(nèi)的線性測量。其中，線性測量包括定位精度測量、重復定位精度測量和設(shè)備反向間隙測量等。
線性測量應用
SJ6000高精度機床激光干涉儀廣泛應用于機床、三坐標、機器人、3D打印設(shè)備、自動化設(shè)備、線性位移平臺、精密機械設(shè)備、精密檢測儀器等領(lǐng)域的線性測量。
部分技術(shù)指標
主機
穩(wěn)頻精度：0.05ppm
動態(tài)采集頻率：50 kHz
預熱時間：≤ 6分鐘
工作溫度范圍：(0~40)℃
存儲溫度范圍：(-20~70)℃
環(huán)境濕度：(0~95)%RH
環(huán)境補償單元
空氣溫度傳感器：±0.1℃ (0~40)℃，分辨力0.01℃
材料溫度傳感器：±0.1℃ (0~55)℃，分辨力0.01℃
空氣濕度傳感器：±6%RH (0~95)%RH
大氣壓力傳感器：±0.1kPa (65~115)kPa
線性測量距離：(0~80)m (無需遠距離線性附件)
角度測量范圍：±10°
平面度測量范圍：±1.5mm
直線度測量范圍：±3mm
垂直度測量范圍：±3/M mm/m
便攜箱尺寸：613*460*230mm
標準配置重量：18kg
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