產品特色
● 數(shù)字化產品
● 多參數(shù)顯示和輸出：溫度、壓力、流量等
● 可選高精度：可優(yōu)于0.5%
● 可測范圍廣，0.01~99%
● 滿量程超低壓損為360Pa
● 響應時間快，優(yōu)于10 ms
● 內置98種氣體
● 可現(xiàn)場標定混合氣體（最多5種成分），并存儲20種混合氣
精度升級
量程為0.5 SCCM - 1000 SLPM，
其中10 SCCM - 100 SLPM量程段，下述指標升級：
質量流量普通精度 ± 0.75% 讀數(shù)或± 0.1% 滿量程（取值）
質量流量高精度 ± 0.6% 讀數(shù)或± 0.1% 滿量程（取值）
重復性 ±（0.1% 讀數(shù) + 0.02% 滿量程）
質量流量零點漂移 ± 0.03% 滿量程 / ℃溫差± 0.01% 滿量程 / Atm壓力差
質量流量量程漂移 ± 0.01% 讀數(shù) / ℃溫差± 0.1 % 讀數(shù) / Atm壓力差
技術指標
介質要求 非腐蝕性、潔凈、干燥的氣體
介質種類 內置了98種氣體，請參考背面
一臺設備內置所有氣體，用戶可現(xiàn)場選擇
量 程 從0 - 0.5 SCCM 到 0 - 1000 SLPM
測量范圍 0.01～99%
顯示流量 128%滿量程
顯 示 屏 帶按鍵背光開關，標準為LCD顯示屏，可選TFT彩色顯示屏
顯示方式 同時顯示質量流量、體積流量、壓力、溫度
精 度 ± （0.8%讀數(shù) + 0.2%滿量程）見上段精度升級部分
± （0.4%讀數(shù) + 0.2%滿量程）（可選）
累計流量精度 流量精度之外增加±0.5%額外誤差
重 復 性 ±（0.2%讀數(shù)+0.02%滿量程）
質量流量溫度漂移 0.03%滿量程當溫度從25℃起每變化1℃
質量流量壓力漂移 ±（0.08 % 讀數(shù) + 0.02 % 滿量程）當壓力從標定壓力起，每變化1bar
響應時間 優(yōu)于10 ms
預熱時間 < 1 s
標定工況 25 ℃&1 Atm（可現(xiàn)場在測量范圍內隨意更改）
工作溫度 -10 ～ 60 ℃（可選高溫/低溫選項）
溫度精度 ± 0.75 ℃
工作濕度 0 ～ 95 %，無冷凝
工作壓力 0.3 MPa表壓，進出口允許瞬時壓差70 Kpa
操作壓力 如果不做真空特殊標定，建議在絕壓80 KPaA以上使用；其他真空壓力建議做特殊標定
壓力精度 ±0.5%讀數(shù)（讀數(shù)＞1 Atm），或±0.1PSIA（＜1Atm）
滿量程壓損 參考詳細壓損表
數(shù)據(jù)刷新頻率 數(shù)字信號40 Hz@ 19200波特率；
模擬信號：1000 Hz
屏幕刷新頻率 10 Hz
數(shù)字輸入/輸出信號 RS232、RS485、Modbus RTU（RS232/RS485）、Modbus TCP/IP、DeviceNet、EtherCAT、EtherNet/IP、Profibus*
模擬輸入/輸出信號 0-5 VDC、1-5 VDC、0-10 VDC、4-20mA
可選第二路模擬輸出 質量流量、體積流量、壓力、溫度
模擬信號精度 在基礎誤差上額外增加 ± 0.1 % 滿量程誤差
供電電壓 7 - 30 VDC（如選4 - 20 mA輸出，須為15 - 30 VDC）
供電電流 40 mA，80 mA（4 - 20 mA 或 0 - 10 VDC）
電氣接口 DB9，可選DB15、6針工業(yè)接頭、8針Mini-DIN
泄漏率（外漏） 選擇HLC選項，泄漏率可低至1 x 10-9Atm cc/s He
材 質 302不銹鋼、Viton、硅膠RTV、玻璃增強尼龍、鋁
過程連接 詳情參考壓損表
安裝方式 對位置無要求
防護等級 IP40
認 證 ISO 9001、NIST溯源認證、CE、RoHS、REACH聲明、CSA （可選）
* 如選Profibus，則無模擬信號，無顯示，其供電電壓及供電電流需來電垂詢
