RTDWAFER熱點(diǎn)阻專(zhuān)為需要高精度溫度測(cè)量的製程所 設(shè)計(jì)，例如半導(dǎo)體光阻劑處理系統(tǒng)、晶圓探測(cè)器和許多其他類(lèi)型 的半導(dǎo)體製造設(shè)備。 透過(guò)研發(fā)團(tuán)隊(duì)精心整合設(shè)計(jì)帶來(lái)高量測(cè)精度和結(jié)果穩(wěn)定性， WAFER 上的 RTD 傳感器，黏合及封裝材料，四線(xiàn)式電阻測(cè)量 方式是關(guān)鍵的集成元件。
Features ? 工作溫度範(fàn)圍： -80°C to 300°C ? 溫度點(diǎn)位： 1 to 160 p
菘啟工業(yè)有限公司是中國(guó)臺(tái)灣溫度傳感器制造公司，于2002年在珠三角地區(qū)設(shè)立的服務(wù)據(jù)點(diǎn)松揚(yáng)溫控。菘啟工業(yè)有限公司在1995年2月于臺(tái)北成立，擁有：”BS EN ISO 9001:2000 品質(zhì)認(rèn)證”，”ISC/IEC GODE25 溫度實(shí)驗(yàn)室認(rèn)證”，”UL IEC 17025 二級(jí)溫度實(shí)驗(yàn)室認(rèn)證”等三大認(rèn)證。以其*的設(shè)備，專(zhuān)業(yè)的知識(shí)，的技術(shù)，已為國(guó)內(nèi)外廣大客戶(hù)提供溫度傳感控制方面的解決方案。菘啟工業(yè)有限公司多次參與中國(guó)傳感器協(xié)會(huì)會(huì)議，并于會(huì)中針對(duì)*溫度傳感技術(shù)發(fā)表專(zhuān)題研討。不斷的創(chuàng)新與對(duì)品質(zhì)一貫的堅(jiān)持，是我們宗旨。期望能為廣大客戶(hù)提供優(yōu)良，高質(zhì)的服務(wù)。
菘啟工業(yè)有限公司——是溫度測(cè)量控制產(chǎn)品及高溫材料供應(yīng)商，產(chǎn)品應(yīng)用于航太、半導(dǎo)體、太陽(yáng)能光伏、LED、石油化工也、汽車(chē)工業(yè)、食品業(yè)等高科技產(chǎn)業(yè)及傳統(tǒng)產(chǎn)業(yè)。公司依托中國(guó)臺(tái)灣總公司的強(qiáng)大研發(fā)、校驗(yàn)?zāi)芰?；東莞的生產(chǎn)基地以及昆山的技術(shù)服務(wù)與支持，現(xiàn)已形成全方面的產(chǎn)品設(shè)計(jì)、開(kāi)發(fā)、制造、校驗(yàn)的系統(tǒng)方案提供商。
公司始終堅(jiān)持為客戶(hù)創(chuàng)造更多價(jià)值；提供穩(wěn)定可靠的產(chǎn)品；細(xì)致專(zhuān)業(yè)的服務(wù)，讓THERMOWAY品牌獲得業(yè)界更多的認(rèn)同及尊重
RTDWAFER熱點(diǎn)阻專(zhuān)為需要高精度溫度測(cè)量的製程所 設(shè)計(jì)，例如半導(dǎo)體光阻劑處理系統(tǒng)、晶圓探測(cè)器和許多其他類(lèi)型 的半導(dǎo)體製造設(shè)備。 透過(guò)研發(fā)團(tuán)隊(duì)精心整合設(shè)計(jì)帶來(lái)高量測(cè)精度和結(jié)果穩(wěn)定性， WAFER 上的 RTD 傳感器，黏合及封裝材料，四線(xiàn)式電阻測(cè)量 方式是關(guān)鍵的集成元件。
Features l 工作溫度範(fàn)圍： -80°C to 300°C l 溫度點(diǎn)位： 1 to 160 points l 提供校正服務(wù) l 提供應(yīng)用軟體及分析系統(tǒng)
Applications l 測(cè)量和記錄製程週期的晶圓溫度：裝載、升溫、穩(wěn)定狀態(tài)、冷卻和卸載。 l 提升對(duì)溫度的控制及?致性。 l 管理具有嚴(yán)格熱性能規(guī)格的生產(chǎn)流程或?yàn)?/span> SPC 系統(tǒng)提供數(shù)據(jù)。 l 在硬體或製程研發(fā)期間優(yōu)化晶圓工藝。 l 在最終鑑定、晶圓廠(chǎng)啟動(dòng)以及修復(fù)或升級(jí)系統(tǒng)的重新鑑定過(guò)程中對(duì)晶圓廠(chǎng)設(shè)備進(jìn)行測(cè)試和基準(zhǔn)測(cè)試。
Specifications
Temperature Range: -80°C to 300°C
Wafer Size: 6”, 8”, 12”
Element Type: Thin Film Platinum
Element Resistance: 100Ω, 1000 Ω nominal at 0°C
Resistance Alpha Value: 0.00385
Max. Measurement Current: 200 µA
Accuracy with Calibration Correction: ±0.1°C absolute accuracy, ±0.03°C sensor to sensor accuracy Also available in customized high accuracy ±0.05℃ @ 0℃
Resolution: 0.01°C
Type of Connection: 3-Wire or 4-wire resistance measurement with common current source return
Lead Materials: Polyimide coated copper
Cable Construction: Polyimide film flat cable section transitioning to a silicon rubber round flex cable.
Connection: D-type, high density, sub-miniature with 68 pins.
RTDWAFER熱點(diǎn)阻
