產(chǎn)品簡(jiǎn)介：
本儀器是一款可以對(duì)樣品進(jìn)行目鏡觀(guān)察、相機(jī)成像、拉曼光譜檢測(cè)以及拉曼光譜成像等功能的集成化拉曼光譜儀。
儀器由拉曼光譜儀、拉曼共焦模塊、大平臺(tái)檢測(cè)顯微鏡等構(gòu)成。
特點(diǎn)：
1.全新的MX大平臺(tái)檢測(cè)顯微鏡，支持300mm晶圓及17英寸液晶面板的檢查，含4、6、8、12英寸多種轉(zhuǎn)盤(pán)，可適用不同尺寸的晶圓檢查。
2.可以同時(shí)插入三個(gè)不同波長(zhǎng)的拉曼光譜儀檢測(cè)模塊，并且可在軟件上進(jìn)行不同光譜儀間的切換，即可實(shí)現(xiàn)多波長(zhǎng)拉曼的快速自動(dòng)檢測(cè)。
3.可支持405nm、532nm、633nm、785nm、830nm、1064nm等多個(gè)波長(zhǎng)，且可搭配不同性能的光譜儀，如非制冷、制冷、深度制冷等，以滿(mǎn)足客戶(hù)對(duì)不同樣品、檢測(cè)精度的不同需求。
4.若選配自動(dòng)平臺(tái)，還可以實(shí)現(xiàn)自動(dòng)點(diǎn)掃描進(jìn)行高光譜成像。
技術(shù)參數(shù)
顯微鏡參數(shù)：
| 光學(xué)系統(tǒng) | 無(wú)限遠(yuǎn)光學(xué)系統(tǒng) | 調(diào)焦機(jī)構(gòu) | 粗微動(dòng)同軸調(diào)焦，微動(dòng)格值：1微米 |
| 行程：35mm | |||
| 目鏡 | 大視野（視場(chǎng)數(shù)25mm） | 物鏡轉(zhuǎn)器 | 六孔轉(zhuǎn)換器 |
| 物鏡 | 5X、10X、20X、50X、100X 無(wú)限遠(yuǎn)明暗場(chǎng)半復(fù)消金相物鏡 | 載物臺(tái) | 平臺(tái)面積：718X420 |
| 移動(dòng)范圍：356X305 | |||
| 帶離合器手柄 | |||
| 電動(dòng)平臺(tái) | 平臺(tái)面積：495X641 | ||
| 移動(dòng)范圍：306XXI06 | |||
| 重復(fù)精度：(3+L/50)um | |||
| 照明系統(tǒng) | 明暗場(chǎng)反射照明器 | ||
| 內(nèi)置視場(chǎng)/孔徑光欄 | |||
| 帶濾色片與偏光裝置插槽 | |||
| 三目鏡筒 | 瞳距55mm-75mm， | CCD適配鏡 | 0.5X C-mount |
| 分光比：50/50，100/0，0/100 | |||
| 觀(guān)察方式 | 明場(chǎng)、暗場(chǎng)、偏光、DIC | 其它 | 高精度測(cè)微尺 |
包裝清單
拉曼光譜儀參數(shù)：
| 拉曼光譜范圍 | 200-3600cm-1 |
| 分辨率 | <15cm-1@25μm slit |
| 激光器 | 532±1nm，線(xiàn)寬≤0.2nm |
| 激光功率穩(wěn)定性 | ≤3% P-P(@2hrs) |
| 輸出功率 | 0-100mW 可調(diào) |
| 濾光片激光截止深度 | OD8 |
| 工作溫度 | 0-40℃ |
| 工作濕度 | 5-80% |
| 激光器壽命 | 5000hrs |
