pfeiffer 普發(fā)A3P 系列多級羅茨泵真空泵
產(chǎn)品規(guī)格:
所用技術(shù): 羅茨泵
潤滑: 無油
壓力級數(shù): 多級
其他特性: 緊湊型, 低噪
產(chǎn)品介紹:
A3P 系列干泵降低運(yùn)營成本
A3P 系列干泵:針對中型工藝的高能效*技術(shù)
普發(fā)真空 A3P 系列真空泵具有三款型號可選,由于產(chǎn)品極大地降低了運(yùn)營成本,使其在市場中脫穎而出。與以往真空泵技術(shù)相比,節(jié)約能耗可達(dá) 50%。在工藝適應(yīng)性方面,該系列真空泵結(jié)合了的技術(shù)。此外,由于產(chǎn)品的結(jié)構(gòu)設(shè)計緊湊,使其與傳統(tǒng)的真空泵相比,可節(jié)約高達(dá)50%的空間。
優(yōu)勢
運(yùn)營成本低
占用空間小
重量輕,組裝更簡易
在中型工藝中性能可靠
滿足半導(dǎo)體生產(chǎn)要求
應(yīng)用
半導(dǎo)體行業(yè)(蝕刻、離子注入、PVD 等)
太陽能光伏
用于半導(dǎo)體行業(yè)的干泵
A3P 系列干泵的設(shè)計是基于成熟的多級羅茨技術(shù)。泵體內(nèi)部可耐腐蝕性氣體。因此,在中型工藝中,該系列真空泵具有可靠性高的優(yōu)點(diǎn)。三種型號的真空泵抽速覆蓋范圍廣,因此,可以滿足半導(dǎo)體中型工藝用泵的大部分要求。A3P 系列產(chǎn)品適合在無塵室操作,且已通過 CE 和 Semi S2 標(biāo)準(zhǔn)認(rèn)證。