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磁控濺射脈沖電源

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  • 型號
  • 品牌
  • 所在地
  • 更新時間2023-09-18
  • 廠商性質其他
  • 入駐年限1
  • 產品數量2
  • 人氣值46
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陜西藍海電氣有限公司成立于2007年,是一家專業(yè)從事電源研發(fā)生產的技術型企業(yè),產品涵蓋穩(wěn)壓電源、變頻電源、特種電源、高壓電源、逆變電源、不間斷電源(UPS電源)、靜止變流器、高低壓配電柜、充電機、 照明電器、變壓器、機載天線、航空地面檢測設備、航空慣導設備、航空機載設備、非標機載設備、電子設備、通訊設備(不含廣播地面接收設施)、非標機電設備的生產與銷售;工業(yè)自動控制及數據處理系統、自動化儀器儀表及測試系統、電力自動化設備、樓宇自動化設備工程的開發(fā)、設計、安裝、施工與技術咨詢、技術服務的;公司以西安各大高校和科研院所為技術依托,以誠實守信、高效專業(yè)的經營理念竭誠為廣大客戶服務。產品在工業(yè)自動化控制、樓宇自動化、電子儀器儀表、電力、通訊、鐵路、航空航天、科研院所、太陽能和風力發(fā)電、產品等諸多行業(yè)均有廣泛的應用。 公司以生產電源系列產品為主、兼有工業(yè)自動化控制和自動化測試設備等百余個品種;其中 AC/AC變頻電源、DC/AC靜變電源、AC/DC和DC/DC開關電源產品作為公司的支柱產品,具有功率密度高、波形品質高、紋波小、轉換效率高、電磁兼容性好、結構合理、性能穩(wěn)定等諸多良好品質。個別種類的產品與國外公司的同類產品相比,部分性能優(yōu)于國外產品。 公司在產品研發(fā)方面,堅持自主研發(fā)與橫向聯合相結合,積極同各大高校和科研院所展開技術合作與交流,不斷引進、吸收技術。在質量管理方面,建立了完善的生產和售后服務質量保證體系。公司依托自身精練的機構、*的管理理念、有效的內部激勵機制,使產品質量在生產過程中得到了保證。 公司始終以客戶和員工為關注焦點,以質量求生存,以技術創(chuàng)新求發(fā)展為經營理念,并以滿足客戶的特殊要求為目的。公司秉承生產企業(yè)的優(yōu)良傳統,致力于高品質、高可靠性的產品研發(fā)生產。 全體員工以“敬業(yè)、嚴謹、縝密、求精”的工作作風,以良好的產品質量、售后服務和合理的價格來滿足廣大用戶的不同需求。
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隨著科學技術不斷地發(fā)展,磁控濺射技術也得到了快速的發(fā)展,但在磁控濺射過程中,關鍵部分是脈沖磁控濺射電源,目前,脈沖磁控濺射電源向大功率、高頻化方向發(fā)展,由于開關電源的高頻化使得開關電源的損耗增加,因此,我公司設計生產的大功率磁控濺射脈沖電源采用了移相式軟開關技術,大大降低了電源的開關損耗,提高了電源的效率,利用輸出電流保護點設置的方法,是輸出電流任意調節(jié),實現了快速反應的過流保護。
磁控濺射脈沖電源 產品詳情
    產品名稱:磁控濺射脈沖電源

    產品型號:BIPS-50001.2E

     

          隨著科學技術不斷地發(fā)展,磁控濺射技術也得到了快速的發(fā)展,但在磁控濺射過程中,關鍵部分是脈沖磁控濺射電源,目前,脈沖磁控濺射電源

    向大功率、高頻化方向發(fā)展,由于開關電源的高頻化使得開關電源的損耗增加,因此,我公司設計生產的大功率磁控濺射脈沖電源采用了移相式軟開

    關技術,大大降低了電源的開關損耗,提高了電源的效率,利用輸出電流保護點設置的方法,是輸出電流任意調節(jié),實現了快速反應的過流保護。高

    效和完善的保護措施是電源能長期可靠的運行保證,電源控制采用數字化設計,實現電源的本地控制和上位機智能化控制的目的。

          電源采用脈沖單元疊加技術,將5組相互獨立的單元模塊串聯起來,采用同步驅動技術,實現了5kV 的高壓脈沖輸出??赏ㄟ^增減脈沖單元的數量,滿足

    不同輸出電壓的需要,實現了模塊化設計。

          該系列電源的指標為:
          脈沖電壓幅值500V~5kV ,脈沖頻率500Hz~50kHz ,脈沖占空比5%~90% ,脈沖電流幅值10~200A ,脈沖功率5~50kW。
    1、單極性脈沖磁控濺射電源是在直流磁控濺射電源基礎上增加單極性正脈斬波電路組合而成,消除了由于直流反應濺射出現的靶的污染、陽極

         消失、極間打火等問題。

    2、該電源除具有直流磁控濺射電源的優(yōu)點外,能明顯改善靶面電荷積累現象,減少濺射靶表面的打火次數,提高膜層質量,適用于金屬、合金

         及石墨等靶材鍍制純金屬膜,碳膜和部分氧化物、氮化物及碳化物膜。能明顯性改善靶面電荷積累現象,減少濺射靶表面的打火次數,提高

         膜層質量。

    3、輸出電壓為單極性脈沖,具有平均電流穩(wěn)流功能。

    4、該電源由多個相對獨立的單元疊加而成,具有可靠性高、擴展性好等特點。
    1、 型號:BIPS-50001.2E;

    2、 額定功率:6kW;

    3、 額定輸入電壓:3 AC380V±10%, 50Hz ;

    4、 輸出方式:脈沖;

    5、 輸出頻率:5~20kHz ;

    6、 脈沖電壓幅值:1000~5000V(峰值);

    7、 平均電流:0~1.2A;

    8、 輸出脈沖周期:50~200uS;

    9、 脈沖占空比:10~50% ;

    10、冷卻方式:風冷;

    11、外形尺寸:435mm×264mm×554mm(寬×高×深);

    12、保護功能:具有過流、過壓、過熱等保護措施;

    13、液晶屏的智能控制系統,任意設定輸出脈沖電壓幅值、脈沖周期時間及脈沖頻率,以及各種工藝參數,具有在線可編程功能。
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