該薄膜測(cè)厚儀系統(tǒng)具有的價(jià)值,配有多達(dá)15種標(biāo)準(zhǔn)薄膜厚度測(cè)量算法,在世界各地的實(shí)驗(yàn)室中使用,以緊湊的設(shè)計(jì)提供精確的薄膜厚度測(cè)量。
薄膜測(cè)厚儀應(yīng)用
大量應(yīng)用中提供精確的薄膜厚度測(cè)量。保證3層測(cè)量,在某些情況下根據(jù)參數(shù)超過(guò)3層。測(cè)量具有一定反射率的***光滑或半光滑表面
LED,太陽(yáng)能,F(xiàn)PD/LCD,OLED,Photomask,電源設(shè)備,SOI,HDD磁頭等。
薄膜測(cè)厚儀規(guī)格參數(shù)
薄膜層數(shù):***多3層
波長(zhǎng)范圍:380-800nm
重復(fù)精度:2 Å
薄膜類型:可測(cè)
n&k數(shù)值:可測(cè)
測(cè)量時(shí)間:0.1-25秒
可測(cè)薄膜厚度:100Å~30um
可測(cè)晶圓尺寸:3,4,5,6,8英寸