我们的隔膜密封阀产品有多种尺寸、材质和配置可供选择，能够满足各种高纯和超高纯(UHP) 应用的需求。
隔膜密封阀：
●循环寿命长，可有效关断
●具有包括手动、气动和锁定在内的执行机构选购件
●提供各种尺寸、材质和配置
我们的隔膜密封阀产品包括：
●原子层沉积隔膜阀（ALD3 和 ALD6）
●大宗气体隔膜阀（LD 系列）
●隔膜密封阀（DL 和 DS 系列）
●超高纯含氟聚合物隔膜阀（DRP 系列）
●高流量无弹簧隔膜阀（DF 系列）
●高性能无弹簧隔膜阀（DP 系列）
●适用于模块化气体系统的 1.125 in. 无弹簧隔膜阀（DE 系列）
●热浸没型隔膜阀（DH 系列）
是否在寻找原子层沉积超高纯阀？
原子层沉积 (ALD) 阀
查看 ALD3 和 ALD6 系列隔膜阀以及我们富有特色的用于原子层沉积的 ALD20 UHP 阀 。
大宗气体隔膜阀（LD 系列）
LD 系列大宗气体隔膜阀的流量系数高达 13，有多种阀体材料和配置可供选择，因此广泛适用于各种超高纯关断、大宗气体输送和隔离应用。
规格
工作压力 | 300 psig (20.6 bar) |
温度 | -20° 至 300°F（-28° 至 148°C） |
流量系数 | 13 |
阀体材料 | CF3M 铸造不锈钢、锻造和棒材 316L 不锈钢 |
隔膜材料 | 316L 不锈钢 |
端接 | |
类型 | 世伟洛克卡套管接头、外螺纹 VCR® 面密封接头、内螺纹 NPT、内螺纹 ISO、卡套管延长管 |
尺寸 | 1/4 至 1 in.；12 至 25 mm |
隔膜密封阀（DL 和 DS 系列）
DL 系列和 DS 系列隔膜阀为 3500 psig (241 bar) 以下压力的高纯和超高纯应用提供无填料的全金属密封。
规格
工作压力 | 3500 psig (241 bar) |
温度 | -100° 至 250°F（-73° 至 121°C） |
流量系数 | 0.30 |
阀体材料 | 316L 不锈钢 |
隔膜材料 | 316 不锈钢 |
端接 | |
类型 | 世伟洛克卡套管接头、VCR® 面密封接头、VCO® O 型圈接头、卡套管对焊、卡套管承插焊 |
尺寸 | 1/4、3/8 和 1/2 in.；6 和 8 mm |
超高纯含氟聚合物隔膜阀（DRP系列）
DRP 系列超高纯隔膜阀符合适用于超高纯化学品输送系统与设备的 SEMI 标准 F57-0301，其增强型设计有助于地减少截留区并延长隔膜寿命。
规格
压力额定值 | 100 psig (6.8 bar) |
介质温度 | 73° 至 212°F（23° 至 100°C） |
流量系数 | 10.2 |
阀体、隔膜材料 | 改良型 PTFE |
端接 | |
类型 | 标准配置为细牙螺纹扩口和 Nippon Pillar Super 300®；ISO、NPT、Flowell |
尺寸 | 1/4 至 1 1/4 in. 和 6 至 25 mm |
配置 | 2 通和 3 通手动和气动关断；流量可调和旁通型 |
高流量无弹簧隔膜阀（DF 系列）
DF 系列隔膜阀广泛适用于各种超高纯大流量应用场合，流量系数为 0.62，并配备有大流量端接。
规格
工作压力 | 真空至 300 psig (20.6 bar) |
爆裂压力 | 3200 psig (220 bar) |
执行压力 | 70 至 100 psig（4.9 至 6.8 bar） |
温度 | -10° 至 270°F（-23° 至 132°C） |
流量系数 | 0.62 |
阀体材料 | 316L VAR 不锈钢 |
隔膜材料 | 钴基高温合金 |
端接 | |
Type | “H”型 VCR® 面密封接头、VCR® 面密封接头、卡套管对焊 |
Size | 1/4、3/8、1/2 in.；10 和 12 mm |
高性能无弹簧隔膜阀（DP 系列）
DP 系列隔膜阀采用 316L VIM-VAR 结构，适用于各种超高纯应用场合。
规格
工作压力 | 真空至 3045 psig (210 bar) |
爆裂压力 | 12 200 psig (840 bar) |
执行压力 | 60 至 120 psig（4.2 至 8.2 bar） |
温度 | -10° 至 300°F（-23° 至 150°C） |
流量系数 | 0.20 和 0.27 |
阀体材料 | 316L VIM-VAR 不锈钢 |
隔膜材料 | 钴基高温合金 |
端接 | |
Type | 世伟洛克卡套管接头、VCR® 面密封接头、卡套管对焊、模块化表面安装 (MSM) |
Size | 1/4 in.；6 mm |
适用于模块化气体系统的1.125 in. 无弹簧隔膜阀（DE 系列）
DE 系列无弹簧隔膜阀有多种执行机构选购件可供选择，易于集成到 1.125 in. C 型密封或 W 型密封模块气体系统中。
规格
工作压力 | 真空至 125 psig (8.6 bar) |
爆裂压力 | 3200 psig (220 bar) |
执行压力 | |
常闭 | 60 至 120 psig（4.1 至 8.2 bar） |
常开和 | 60 至 90 psig（4.1 至 6.2 bar） |
常闭，带手动 |
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整体锁定超控 |
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温度 | 14° 至 150°F（-10° 至 65°C） |
流量系数 | 0.3 |
阀体材料 | 316L VIM-VAR 不锈钢 |
隔膜材料 | 钴基高温合金 |
端接 | |
类型 | 1.125 in. 模块化表面安装 (MSM) |
配置 | 2 孔口和 3 孔口 |
热浸没型隔膜阀（DH 系列）
世伟洛克热浸没型隔膜阀启动速度快，流量系数高达 0.60，能够在原子层沉积 (ALD)、前体输送等高温工艺应用场合的 220°C (428°F) 温度下提供性能。此系列阀门有气动型和手动型可供选择，并具有各种 1/4 和 3/8 in. 端接。
规格
工作压力 | 真空至 70 psig (4.8 bar) |
爆裂压力 | > 3200 psig (220 bar) |
Actuation Pressure | 60 至 90 psig（4.1 至 6.2 bar） |
温度 | 20° 至 220°C（70° 至 428°F） |
流量系数 | |
“H”型 VCR® 连接件 | 20°C (70°F) 下为 0.60 |
| 220°C (428°F) 下为 0.40 |
VCR 和所有其他连接件 | 20°C (70°F) 下为 0.30 |
模块化表面安装 body | 20°C (70°F) 下为 0.25 |
阀体材料 | 316L VIM-VAR 不锈钢 |
隔膜材料 | 钴基高温合金 |
端接 | |
Type | VCR 和“H”型 VCR 金属垫片面密封接头、卡套管对焊；模块化表面安装 (MSM) |
Size | 1/4 和 3/8 in. |
