| ●采用雙重閉環(huán)運(yùn)動控制,電機(jī)在高速運(yùn)動時具有精確的定位性能。 ●采用本公司開發(fā)的嵌入式模塊控制電機(jī),提高了電機(jī)響應(yīng)速度，還簡化了儀器與PC機(jī)的接口,PC機(jī)與儀器USB線與S端子線連接。 ●采用花崗巖平臺，外觀簡潔大方。 ●表面光由獨(dú)立24組光源組成，每一組均為恒流源驅(qū)動，200極連績可調(diào) ●配有我公司M2D-CNC軟件，大大提高測量效率。 技術(shù)參數(shù) 工作臺 金屬臺尺寸(mm) 450＊280 玻璃臺尺寸(mm) 306＊196 運(yùn)動行程(mm) 250×150 Z軸升降行程(mm) 150(調(diào)焦) X、Y、Z軸數(shù)顯分辨率 0.0005mm X、Y坐標(biāo)示值誤差(μm): ≤(3＋L/75) 電機(jī) 三軸運(yùn)動速度 100mm/s 三維定位精度 0.001mm 影像系統(tǒng) 攝影機(jī)( 日本原裝 ) 雙焦物鏡倍率: 0.7~4.5× 視頻總倍率: 30~190x 物方視場: 10.6~1.6mm 雙焦物鏡倍率：0.7~4.5X 視頻總倍率：30~190X |
