GTS-1數(shù)字化光柵投影云紋攝像儀
(可根據(jù)用戶要求定制)
用白光作為光源,將較密的柵線,如6線/mm到10線/mm的柵投影到被測(cè)物的漫射面上,利用CCD授受信息輸入計(jì)算機(jī)中,經(jīng)過(guò)圖像處理,可以精確計(jì)算出物體的形貌。這一方法不受柵板尺寸的限制,投影柵板做得好,可以對(duì)整個(gè)汽車或飛機(jī)機(jī)翼及機(jī)身進(jìn)行測(cè)量。還可以用顯微投影加上長(zhǎng)距離顯微鏡系統(tǒng)放大,對(duì)細(xì)小被測(cè)物進(jìn)行測(cè)量(如尺寸為1mm左右的物體)。無(wú)論是對(duì)大物體或小的細(xì)觀測(cè)量,均可以用相移方法提高其靈敏度。所以這一技術(shù)發(fā)展相當(dāng)快,一是用于大型結(jié)構(gòu)上,如汽車外殼、飛機(jī)機(jī)翼和機(jī)身、火箭、大型船舶的局部,大型天線等;二是用于細(xì)小微觀測(cè)量上,如硅片的平整度,人造晶體生長(zhǎng)的形狀測(cè)量、咱子浸水后的膨脹規(guī)律測(cè)定上。投影柵法的發(fā)展和制柵技術(shù)、計(jì)算機(jī)圖像處理、相移技術(shù)、顯微投影、長(zhǎng)距離顯微鏡等技術(shù)密切相關(guān),發(fā)展十分迅速。系統(tǒng)的測(cè)量靈敏度與被測(cè)面積有關(guān),一般直徑1mm的測(cè)量可到靈敏度為0.1微米;10mm的測(cè)量面積可到1微米。
- 儀器配置及參數(shù)
白光光纖冷光源150w;
帶有機(jī)械式相移機(jī)構(gòu)的8~15線/mm投影光柵;
帶有75mm定焦投影放大鏡頭的投影系統(tǒng);
數(shù)字式CCD,大恒1394口,1K×1K分辨率;
F25百萬(wàn)像素定焦鏡頭;
測(cè)量范圍,2mm2-100mm2平面型物體;
測(cè)量靈敏度,0.01mm;
六自由度試件載物臺(tái);
進(jìn)口圖采卡:Meteor-II;
圖像采集、處理及計(jì)算軟件:結(jié)果可以圖像數(shù)字化輸出;
- 選配件
- 隔振臺(tái):0.8m×1.2m;臺(tái)高800mm、主動(dòng)式氣墊隔振、5Hz;
演示試件:表面噴砂,帶有5mm直徑的微坑