型號(hào) WUD-20, WUD-25, WUD-26超高純度傳感器
1)用集成顯示和可選的開關(guān)觸點(diǎn)
型號(hào) WUD-20, WUD-25, WUD-26應(yīng)用
1)半導(dǎo)體、平板顯示器和光伏行業(yè)
2)用于為半導(dǎo)體生產(chǎn)系統(tǒng)供應(yīng)超純氣體
型號(hào) WUD-20, WUD-25, WUD-26產(chǎn)品特性
1)高精度壓力測(cè)量0.15 % RSS
2)的長(zhǎng)期穩(wěn)定性
3)信號(hào)降噪和屏蔽
4)真空基準(zhǔn)壓力測(cè)量
5)主動(dòng)溫度補(bǔ)償
型號(hào) WUD-20, WUD-25, WUD-26描述
1)可靠
2)WUD-2x系列超高純度傳感器將*的傳感器理念與模擬輸出信號(hào)相結(jié)合,能夠?yàn)楫?dāng)前市場(chǎng)需求提供、確的壓力測(cè)量。
3)基于真正真空基準(zhǔn)的壓力測(cè)量技術(shù),加上帶干擾屏蔽及噪音消除的電子測(cè)量技術(shù),確保了高精度壓力測(cè)量以及優(yōu)異的長(zhǎng)期穩(wěn)定性。
4)主動(dòng)溫度補(bǔ)償可降低溫度變化對(duì)傳感器的影響,即使在溫度變化很大的應(yīng)用中仍然能夠安全使用,如氣體膨脹時(shí)的焦耳湯姆遜效應(yīng)。
5)WUD-25管道式及WUD-26表面安裝傳感器 采用特別設(shè)計(jì),可承受安裝帶來(lái)的扭曲應(yīng)力。特殊的薄膜設(shè)計(jì)可消除過(guò)程連接或焊接接縫處的負(fù)載造成的傳感器失效風(fēng)險(xiǎn)。
型號(hào) WUD-20, WUD-25, WUD-26多用途
1)WUD-2x可輕松安裝于“on-tool”配氣系統(tǒng)中。明亮的LED顯示屏可旋轉(zhuǎn),因此可從任意位置輕松查看讀數(shù)。
2)配備2個(gè)可編程開關(guān)輸出,可針對(duì)具體應(yīng)用進(jìn)行監(jiān)測(cè)及控制。
型號(hào) WUD-20, WUD-25, WUD-26結(jié)構(gòu)緊湊
1)WUD-2x是市面上的UHP傳感器,夠用于安裝空間狹小的場(chǎng)合,甚至可輕松對(duì)現(xiàn)有裝置進(jìn)行改裝