操作規(guī)格 氣體：
大多數(shù)氣體；檢查與儀表材料的兼容性；訂貨時具體指出。
質量流量：
0~10sccm 到 0~50slpm；的流量范圍是 76 厘米 汞柱、21oC（70oF）下的氮氣對應流量范圍；用其他單位表示的流
量范圍也可提供（ 即 ： scfh 或 nm3/hr）。
氣體壓力：
150psig(10barg)；20psig（1.4barg）。
氣體＆環(huán)境溫度：
32oF 到 122oF（0oC 到 50oC）。
防滲漏功能：
為 1×10-4 atm cc/sec（氦氣）。
性能規(guī)格
精度：
±1.5 滿度，在 15oC～25℃及 5 到 60psia（0.3 到 4bara）范圍內。 如果流量計是通過垂直流量通路安裝的，
則準確度為下所示：
操作壓力
入口壓力差 50psig 100psig 150psig
±1psig ±1.5％滿度 ±1.5％滿度 ±1.5％滿度
±5psig ±3.8％滿度 ±4.5％滿度 ±5.3％滿度
±10psig ±6％滿度 ±7.5％滿度 ±9％滿度
重復性：
±0.5％滿度。
溫度系數(shù)：
0.08％滿度每 oF（0.15％滿度每 oC），或更好。
壓力系數(shù)：
0.01％滿度每 psi（0.15 滿度每 bar），或更好。
響應時間：
時間常數(shù) 800 毫秒；6 秒到最終值的±２％以內（滿 度的 25％到 100％）。
