儀器特點(diǎn) :
計(jì)算機(jī)全數(shù)字化控制,操作簡(jiǎn)捷直觀。
步進(jìn)馬達(dá)自動(dòng)進(jìn)行針尖--樣品逼近,保證實(shí)驗(yàn)圓滿成功。
深度陡度測(cè)量,三維顯示。
納米材料粗糙度測(cè)量、顆粒徑度測(cè)量及分布統(tǒng)計(jì)。
X、Y二維樣品移動(dòng)平臺(tái),快速搜索樣品區(qū)域.
標(biāo)準(zhǔn)RS232串行接口,無需任何計(jì)算機(jī)卡
樣品觀測(cè)范圍從0.001um-20000um。
掃描速度達(dá)40000點(diǎn)/秒
可選配納米刻蝕功能模塊。
技術(shù)指標(biāo) :
STM探頭
樣品尺寸:厚度小等于15mm。
XYzui大掃描范圍:標(biāo)準(zhǔn)6X6微米
可選3μm×3μm,10μm×10μm,20μm×20μm,50μm×50μm,100μm×100μm
Z向分辨率:0.01nm(HOPG定標(biāo))
XY二維樣品移動(dòng)范圍:5mm
樣品-針尖白光照明
步進(jìn)馬達(dá)自動(dòng)進(jìn)行針尖-樣品逼近(自動(dòng)保護(hù)針尖)
全金屬屏蔽防震隔音箱(選配)
精密隔震平臺(tái)(選配)
電子學(xué)控制器 :
XTZ控制 18-Bit D/A
數(shù)據(jù)采樣 14-BitA/D、16 Bit A/D多路同步采樣
Z向反饋 DSP數(shù)字反饋
反饋采樣速率 64.0KHz
高壓放大器 集成高壓運(yùn)算放大器,zui大電壓范圍+/-150V
頻率范圍 ---
幅度范圍 ---
掃描速率 21Hz
掃描角度 0-360度連續(xù)可調(diào)
掃描偏移 任意
圖像采樣點(diǎn) 256X256或512X512
步進(jìn)馬達(dá)控制 手動(dòng)和自動(dòng)進(jìn)退
計(jì)算機(jī)接口 標(biāo)準(zhǔn)RS232串行/USB