渦輪分子泵 HiPace® 350-800 技術(shù)參數(shù):
分子泵型號(hào) | 分子泵連接尺寸 DN | 抽速 l/s | 壓縮比 | 啟動(dòng)壓強(qiáng) hPa | 極限壓力 | 全轉(zhuǎn)速氣體流量 hPa l/s | 啟動(dòng)時(shí)間 | 重量 | |||
進(jìn)氣口 | 排氣口 | 氮?dú)釴2 | 氦氣He | 氫氣 H2 | 氮?dú)釴2 | 氮?dú)釴2 |
| 氮?dú)釴2 | min | kg | |
HiPace® 400 | 100 | 25 | 355 | 470 | 445 | > 1X1011 | 11 | < 1X10–7 | 6.5 | 2 | 11.6 – 17.5 |
HiPace® 700 HiPace® 700P HiPace® 700 Plus | 160 | 25 | 685 | 655 | 555 | > 1X1011 | 11 | < 1X10–7 | 6.5 | 2 | 11.5 – 17.4 |
HiPace® 800 HiPace® 800 P | 200 | 25 | 790 | 700 | 580 | > 1X1011 | 11 | < 1X10–7 | 6.5 | 2 | 12.8 – 19.1 |