中圖SJ6000工業(yè)激光干涉儀品牌具有高精度、高靈敏度、非接觸式測量等優(yōu)點(diǎn)，在計(jì)量領(lǐng)域中可作為長度基準(zhǔn)以及設(shè)備校準(zhǔn)工具。廣泛應(yīng)用于數(shù)控機(jī)床、激光打標(biāo)/切割、三坐標(biāo)、影像儀、精密測量、自動(dòng)化、機(jī)器人、3D打印等領(lǐng)域。
技術(shù)規(guī)格
| 主機(jī) | 穩(wěn)頻精度 | 0.05ppm |
| 動(dòng)態(tài)采集頻率 | 50 kHz | |
| 工作溫度范圍 | (0~40)℃ | |
| 存儲溫度范圍 | (-20~70)℃ | |
| 環(huán)境濕度 | (0~95)%RH | |
| 環(huán)境補(bǔ)償單元 | 空氣溫度傳感器 | ±0.1℃ (0~40)℃，分辨力0.01℃ |
| 材料溫度傳感器 | ±0.1℃ (0~55)℃，分辨力0.01℃ | |
| 空氣濕度傳感器 | ±6%RH (0~95)%RH | |
| 大氣壓力傳感器 | ±0.1kPa (65~115)kPa | |
| 線性測量 | 線性測量距離 | (0~80)m (無需遠(yuǎn)距離線性附件) |
| 線性測量精度 | 0.5ppm (0~40)℃ | |
| 測量分辨力 | 1nm | |
| 測量速度 | 4m/s |
產(chǎn)品配置
SJ6000激光干涉儀系統(tǒng)具有豐富的模塊化組件，可根據(jù)具體測量需求而選擇不同的組件。主要鏡組如下圖所列，依次為線性鏡組、角度鏡組、直線度鏡組、垂直度鏡組、平面度鏡組、自動(dòng)精密轉(zhuǎn)臺。
主要鏡組圖
其中，線性鏡組為標(biāo)配，由線性干涉鏡、線性反射鏡和夾緊孔座構(gòu)成?？蓾M足線性位移設(shè)備的定位精度、重復(fù)定位精度、反向間隙的測量與分析，以及反向間隙修正和螺距補(bǔ)償。
線性測量配置及使用方法
線性測量（線性軸位置精度測量的簡稱）配置主要由SJ6000主機(jī)、EC20環(huán)境補(bǔ)償單元、線性鏡組、SJ6000靜態(tài)測量軟件等組件構(gòu)成，可滿足0~80m范圍內(nèi)的線性測量。其中，線性測量包括定位精度測量、重復(fù)定位精度測量和設(shè)備反向間隙測量等。
線性鏡組可以針對不同方向的運(yùn)動(dòng)軸而搭建相應(yīng)的測量光路。
垂直軸的線性測量示意圖
水平軸的線性測量示意圖
SJ6000靜態(tài)測量軟件可以將線性測量結(jié)果生成誤差補(bǔ)償表，該表涵蓋了各個(gè)測量點(diǎn)的補(bǔ)償值，運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)制造商允許通過修改運(yùn)動(dòng)軸的補(bǔ)償值來消除該運(yùn)動(dòng)軸的位置誤差，精確的補(bǔ)償，可以有效地降低運(yùn)動(dòng)軸的位置誤差。
線性測量中目標(biāo)位置的數(shù)據(jù)采集有基于位置的目標(biāo)采集和基于時(shí)間的目標(biāo)采集兩種方式，普遍采用基于位置的目標(biāo)采集方式，即：被測運(yùn)動(dòng)軸需設(shè)定若干個(gè)等距的定位點(diǎn)，當(dāng)運(yùn)動(dòng)軸移動(dòng)到設(shè)定的定位點(diǎn)時(shí)，需設(shè)置停留時(shí)間，以供SJ6000測量軟件進(jìn)行當(dāng)前點(diǎn)的數(shù)據(jù)采集。
線性測量應(yīng)用
SJ6000工業(yè)激光干涉儀品牌廣泛應(yīng)用于機(jī)床、三坐標(biāo)、機(jī)器人、3D打印設(shè)備、自動(dòng)化設(shè)備、線性位移平臺、精密機(jī)械設(shè)備、精密檢測儀器等領(lǐng)域的線性測量。
導(dǎo)軌的直線度測量
精度高
SJ6000激光干涉儀以干涉技術(shù)為核心，其光波可直接對米進(jìn)行定義。采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)，可實(shí)現(xiàn)高精度、抗干擾能力強(qiáng)、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出；采用高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊，可實(shí)現(xiàn)激光波長和材料的自動(dòng)補(bǔ)償；干涉鏡與主機(jī)分離設(shè)計(jì)，避免干涉鏡受熱影響，保證干涉光路穩(wěn)定可靠。
功能廣
（1）可實(shí)現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉(zhuǎn)軸等幾何參量的高精密測量；
（2）可檢測數(shù)控機(jī)床、三坐標(biāo)測量機(jī)等精密運(yùn)動(dòng)設(shè)備其導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等，以及導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等；
（3）可實(shí)現(xiàn)對機(jī)床回轉(zhuǎn)軸的測量與校準(zhǔn)；
（4）可根據(jù)用戶設(shè)定的補(bǔ)償方式自動(dòng)生成誤差補(bǔ)償表，為設(shè)備誤差修正提供依據(jù)；
（5）具有動(dòng)態(tài)測量與分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等，可進(jìn)行振動(dòng)分析、絲桿導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等；
（6）支持手動(dòng)或自動(dòng)進(jìn)行環(huán)境補(bǔ)償。
對機(jī)床精度再校準(zhǔn)
導(dǎo)軌直線度檢測
