- 產(chǎn)品說明
- 超高純凈膜片式瓶閥是針對半導(dǎo)體行業(yè)共同研究開發(fā)的新產(chǎn)品。捷銳從英國引進該項技術(shù)，為中國半導(dǎo)體行業(yè)提供了一項全新的產(chǎn)品，目前市場的空白。
- 有手動和氣動兩種閥，二者基于同一母體設(shè)計。
- 適用于大多數(shù)特種氣體，包括各種濃度的氧氣和高腐蝕性氣體如氯氣和等。
- 在符合超高純標(biāo)準的潔凈廠房內(nèi)生產(chǎn)制造，最終的裝配和測試是在10級無塵室中進行。
- 針對有低泄漏率要求的高純氣體用戶設(shè)計。
- 每個閥門都采用氦氣質(zhì)譜儀檢測泄漏率。
- 膜片直接作用于閥座關(guān)閉閥門，光滑過渡的膜片設(shè)計可以將氣體流道死角減至最小。
- 閥座的特殊支撐和緊固設(shè)計，可以將高壓負載下閥座的變形量和背壓條件下閥座的提升量減至最小。
- 膜片為一體式無焊接結(jié)構(gòu)，有效隔離了氣體和機械運動部件，提高了使用壽命。
- 為防止脫落的顆粒物污染，在氣體流道中不存在任何滑動，旋轉(zhuǎn)或摩擦部件。
- 進氣口呈喇叭型，增強氣體流通，便于清潔和吹掃凈化。
- 進出口端形式適合所有已知的行業(yè)標(biāo)準；閥門也同樣適用于市場上各種流體。
- 手輪可用金屬絲鎖定。
- 執(zhí)行器能夠被鎖定在關(guān)閉位置，以防止運輸過程中的震動，導(dǎo)致泄漏。
- 手動和氣動兩種形式均適合用標(biāo)準閥門保護管帽。
- 出口端采用帶鏈條的管帽密封和保護。
- 閥門裝置包含提高安全性能的二次密封。
- 母體帶有“π”標(biāo)記表示通過歐盟的TPED認證
- 工作壓力：230bar (3300psi)
- 適用氣體：工業(yè)和特種氣體（包括有毒氣體和腐蝕氣體和氧氣）
- 孔徑：4mm
- CV值：0.3
- 工作溫度：-20至65°C
- 閥體泄漏率：1x10-9 mbar l/s (200bar He)
- 閥座泄漏率：小于1x10-8 mbar l/s (200bar He)
- 母體：316L VAR stainless steel，Hastelloy C22，Monel，Nickel
- 閥座：PTCFE, Kynar 740, Vespel SP21 or Zytel 103 (Nylon)
- 膜片：Elgiloy
閥門氣體流道內(nèi)無任何潤滑。閥座選用氣體相容性最小的材料。有關(guān)材料選擇方面的問題請聯(lián)系我們。 - 常閉設(shè)計的氣動執(zhí)行器通用于所有的鋼瓶閥。在驅(qū)動氣源供氣時閥門打開，在彈簧的作用下閥門關(guān)閉。旋轉(zhuǎn)閥套可以將閥門鎖定在關(guān)閉位置。
- 驅(qū)動壓力：5 to 8bar (70 to 120psi)
- 驅(qū)動介質(zhì)：空氣或氮氣
- 進氣接口：1/8” NPT
- 結(jié)構(gòu)材料：不銹鋼，鎳鋁青銅和高硬度陽極化鋁合金
特性
