KJ-1200T-S6015LK1-H系列快速退火爐爐管兩端安裝真空法蘭,真空度用分子泵可以到10-5Torr,機械泵可到10-3Torr。爐底安裝一對滑軌,可用手動滑動。加熱和冷卻速率可達100°C/m。為取得加熱,可以預(yù)先加熱爐子到設(shè)定的溫度,然后移動爐子到樣品位置。為獲得冷卻,可在樣品加熱后移動爐子到另一端。加熱和冷卻速率在真空或者惰性氣體環(huán)境下可以達到10°C/s,是低成本快速熱處理的理想爐子。
可選擇單設(shè)定點或30段可編程控制器。節(jié)能型的陶瓷纖維材料和雙層結(jié)構(gòu),可將外表溫度降到常溫。均溫區(qū)長,操作簡便,密封可靠,綜合性能指標較高,處于國內(nèi)水平。 爐管可選擇配置耐熱鋼、石英玻璃、陶瓷管等材料。
退火爐是一款精巧型快速熱處理管式爐, 是CVD法生長大尺寸二維石墨烯的常用設(shè)備,它是專為半導(dǎo)體或太陽能電池基片的退火而設(shè)計,采用紅外燈管加熱,升溫速度為 50°C/秒. 30 段溫度控制,精度為 ±1°C°C. 計算機通過RS485口和控制軟件實時控制爐子和顯示溫度曲線 。
可在真空不同氣氛空氣不同環(huán)境下,對樣品進行快速熱處理,主要應(yīng)用于院校實驗室、工礦企業(yè)實驗室,如:薄膜沉積,不同材料快速退火、硅化、擴散、晶化和致密化等。
重量輕、升溫速度快、節(jié)能、省時、耐高溫、耐腐蝕、保溫性好,能滿足何種快速燒結(jié)的要求。
具有極低的熱膨脹系數(shù)、耐高溫、化學(xué)穩(wěn)定性好、電絕緣性好。
整個爐體采用雙層內(nèi)膽式結(jié)構(gòu),中間有氣隙隔離,即使爐膛溫度高達1200℃,爐體表面仍然可以安全觸摸無滾燙感覺。
有效的提高了法蘭的氣氛性,法蘭上裝有多種接頭,可接電阻真空計、真空波紋管并能做成容易撤卸的鉸鏈式。
加熱元件采用優(yōu)質(zhì)內(nèi)嵌式合金電熱絲,發(fā)熱效率高、耐高溫、抗氧化、耐腐蝕、升溫快、壽命長、高溫變形小、安裝維修方便,使用壽命長。
操作簡便,控溫精確、可靠、安全多段可編程控制,可以簡化復(fù)雜的試驗過程,真正實現(xiàn)自動控制和運行。
爐體配有:輸出電壓和輸出電流監(jiān)測表,爐子加熱狀態(tài)一目了然。
產(chǎn)品名稱 | 單管滑動式快速退火爐 |
產(chǎn)品型號 | KJ-1200T-S6015LK1-H |
爐管尺寸 | Φ60mmX1500mm |
溫區(qū)長度 | 440mm(更多規(guī)格可按照客戶要求定制) |
恒溫區(qū)長 | 260mm |
工作溫度 | 1100℃ |
溫度 | 1200℃ |
溫控系統(tǒng) | 30段PID微電腦可編程自動控制(用戶可選配液晶觸摸屏顯示) |
控溫精度 | ±1℃ |
溫控保護 | 具有超溫和斷偶保護功能 |
加熱速率 | 0~20℃/分 |
加熱元件 | 合金加熱絲 |
工作電壓 | AC 220V 單相 50HZ (電路電壓用戶可選擇定制) |
功率 | 3KW |
氣 密 性 | 4.03×10-3Pa |
爐膛材料 | 采用日本進口爐膛材料,不掉粉、材料保溫性能好、反射率高、溫場均衡,抗熱漲冷縮能力強 |
滑軌尺寸 | 鍍Cr厚鋼板做的雙向滑軌滑動長度:1200mm |
法蘭接頭 | 標配配有兩個不銹鋼真空法蘭,已安裝機械壓力表和不銹鋼截止閥。 |
密封系統(tǒng) | 該爐爐管與法蘭之間采用硅膠O型圈擠壓密封、撤卸方便、可重復(fù)撤卸,氣密性好、可保證12小時壓力表指針不偏轉(zhuǎn)。 |
爐 管 | 可選氣煉石英爐管、剛玉爐管 |
測溫元件 | K型熱電偶測溫 |
爐殼溫度 | ≤45℃ |
凈 重 | 80KG |
提供相關(guān)配件 | 氣煉石英爐管、真空法蘭、高溫手套、坩堝鉤、爐塞、說明是等其他配件用戶可選配 |
可選配件 | 熱電偶、剛玉坩堝 |
電氣認證 | CE認證 |
售后服務(wù) | 12個月質(zhì)保、終身保修 |
標準配件:
氣煉石英爐管×1 | 真空法蘭×1 | O型膠圈×4 |
高溫手套×1 | 坩堝鉤×1 | 熱電偶×1 |
內(nèi)六方扳手×2 | 爐塞×2 | 中文說明書×1 |
注:爐管、坩堝可按用戶需求選配合適的款型
可選配件:
液晶觸摸控制儀
1.實現(xiàn)烤箱/電爐的升溫、保溫、降溫工藝過程全自動。
2.工藝人員可以將幾段程序編制成1條控溫曲線,保存于觸摸屏內(nèi),帶密碼保護功能,可一次性編制多條曲線。
3.具備斷電記憶功能,查詢已完成的工藝階段。
4.現(xiàn)場操作人員需要調(diào)用某條溫控曲線時,直接輸入曲線序列號即可調(diào)用該條曲線,簡單方便,杜絕錯誤發(fā)生。
5.具備多組歷史數(shù)據(jù)記錄功能。
6.具備同時顯示多段溫度及時間功能。
多路質(zhì)子流量計
1.氣體從鋼瓶出來,經(jīng)過減壓閥減壓,通過四氟管到供氣系統(tǒng)的入口,再經(jīng)過質(zhì)子流量計控制氣體流量,然后經(jīng)過混氣罐,再進入爐子進氣口,氣體從出氣管出來,經(jīng)過三通閥門,一端連接真空泵,一端連接出氣口。
2.混氣罐上接有壓力表,壓力表顯數(shù)盤與質(zhì)子流量計安裝在同一面板上。
3.每一條氣體管路均有一個高壓截止閥,安全有保證。
4.該氣路采用高精度氣體浮子流量計,氣路內(nèi)部全采用四氟管,耐腐蝕性好。
5.所有接頭采用卡套連接,氣密性好,耐壓高。。
耐高溫真空泵
該耐高溫真空泵采用內(nèi)置風(fēng)扇和大面積散熱的風(fēng)冷設(shè)計,大幅度降低泵的表面溫升;采用耐高溫密封圈和進口耐高溫泵油,更加適合真空管式爐的高溫使用環(huán)境。采用進口原裝油封,確保整機長期運行時的可靠密封。泵體采用一體化設(shè)計,零部件少,重復(fù)性好,外形緊湊,便于保養(yǎng)和維修。此外還內(nèi)置有齒輪泵和恒壓供油機構(gòu)強制供油,即便在高吸氣壓強下也能穩(wěn)定可靠地運行。自動防返油閥設(shè)計,有效的保護了你的真空系統(tǒng)在停機后免受泵油的污染;該產(chǎn)品還設(shè)計有兩檔氣鎮(zhèn),可滿足不同工藝對蒸汽排出量的需求。
1、我公司對所供設(shè)備提供質(zhì)保一年保修服務(wù)(易損件除外),在保修期內(nèi)因設(shè)備質(zhì)量原因造成的設(shè)備損壞或故障,均予以免費維修。保修期滿后,仍提供終身的、優(yōu)質(zhì)的維修服務(wù)。
2、在設(shè)備使用過程中如遇故障的,我公司將盡快做出處理方案,確保設(shè)備正常運行。
3、我公司設(shè)提供免費的設(shè)備操作培訓(xùn)和簡單故障排除維修培訓(xùn)。
4、我公司技術(shù)人員可提供(產(chǎn)品安裝調(diào)試、整機維護、技術(shù)講解及操作指導(dǎo)等)。
5、本公司可提供運輸服務(wù),包裝方式均按照標準安全包裝進行。隨機技術(shù)資料齊全(用戶手冊、保修手冊、有關(guān)資料及配件、隨機工具等)。
6、本公司所有產(chǎn)品均有歐盟CE質(zhì)量認證。