VacIon Plus 離子和 TPS 鈦升華組合泵
從上世紀(jì)五十年代,由瓦里安公司首先發(fā)明的濺射離子泵問世以來,越來越多的新設(shè)計和新技術(shù)投入使用,其中大部分源自瓦里安公司,即現(xiàn)在的安捷倫科技。從一臺二極型離子泵,到三極型離子泵,再到Starcell 系列產(chǎn)品乃至世界聞名的VacIon Plus 產(chǎn)品家族等。
VacIon Plus離子泵
- VacIon Plus 是安捷倫科技旗下的的離子泵產(chǎn)品家族,包括全系列離子泵、控制電源、可選配件及附件??蔀楦鞣N應(yīng)用提供相應(yīng)解決方案。除標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品外,安捷倫科技還為特定應(yīng)用提供包括電源及相關(guān)附件在內(nèi)的專屬解決方案,以滿足用戶對起始工作壓強(qiáng)、離子泵工作范圍以及不同成份混合氣體等指標(biāo)的特殊要求。
- VacIon Plus 離子泵產(chǎn)品家族擁有Diode 二極型、Noble Diode 鉭陰極二極型以及Starcell 三極型泵在內(nèi)的全系列產(chǎn)品,以超高真空獲得技術(shù)為眾多應(yīng)用領(lǐng)域服務(wù)。除MiniVac 和Dual 兩款離子泵電源外,4UHV 離子泵控制器則為不同應(yīng)用提供了更為豐富的選擇。
鈦升華復(fù)合型離子泵
- 鈦升華復(fù)合型離子泵將兩種抽氣原理合二為一:
鈦升華過程針對活性氣體提供了的抽速,而同時Starcell 離子泵則有效清除如氬氣等惰性氣體和甲烷等非活性氣體。復(fù)合型泵通過額外的法蘭將鈦升華泵源以及低溫筒集成在泵體當(dāng)中。安捷倫科技還可針對客戶的特殊需求提供定制產(chǎn)品。
4UHV控制器 – 專為超高真空設(shè)計
的安捷倫4UHV 離子泵控制器能同時控制四臺離子泵,可對泵進(jìn)行獨立操作,并且支持各個型號(包括Diode,Noble Diode,StarCell)。LCD 顯示可同時讀取并顯示四通道信息,包括離子泵電壓,電流和壓力??勺冸妷耗軌蜃x取抽速和壓力。標(biāo)配內(nèi)置設(shè)定點,遠(yuǎn)程操作,以及RS232/485 電腦交互界面。
產(chǎn)品特點:
- 優(yōu)化設(shè)計的單元結(jié)構(gòu)尺寸和形狀
- 特別設(shè)計的陶瓷絕緣材料
- 三種不同的抽氣單元可以滿足抽除種混合氣體和特殊應(yīng)用的要求 (二級泵, Noble二級泵(鉭), 及擁有的StarCell 三級泵)
- 各種抽速范圍的離子泵
- 安捷倫真空采用了的高真空處理工藝來確保離子泵的品質(zhì)
- 根據(jù)用戶特殊要求設(shè)計定制
- 可選配相應(yīng)的烘烤加熱裝置,以更妥善地烘烤泵體
技術(shù)參數(shù)1:
Miniature Pump | 2 l/s Pump | 10 l/s Pump | Vaclon Plus 20 | Vaclon Plus 40 | Vaclon Plus 55 | ||||||||
進(jìn)氣口法蘭 | 2 ?” OD CFF | 2 ?” OD CFF | 4 ?” OD CFF | ||||||||||
組件類型 | Diode | Diode | Diode | StarCell | Noble Diode | Diode | StarCell | Noble Diode | Diode | StarCell | Noble Diode | Diode | |
抽速(Saturated Pump at 1-6 mbar) 氮氣 | l/s | 0.2 | 2 | 10 | 20 | 22 | 27 | 34 | 36 | 40 | 50 | 53 | 55 |
工作壽命(at 1-6 mbar) | Hours | N/A | 8000 | 40000 | 80 | 50 | 50 | 80 | 50 | 50 | 80 | 50 | 50 |
啟動壓力 | mbar | 1 x 10-4 | 1 x 10-4 | ≤1 x 10-4 | <10-2 | <10-3 | <10-3 | <10-2 | <10-3 | <10-3 | <10-2 | <10-3 | <10-3 |
烘烤溫度 | °C | 400 (without magnet)150 (with magnet) | 400 (without magnet)150 (with magnet) | 350 | 350 | 350 | 350 | 350 | 350 | 350 | 350 | 350 | 350 |
重量 | Kg | 0.3 | 0.3 | 4 | 7 | 17 | 18 | ||||||
半導(dǎo)體行業(yè)認(rèn)證 | – | – | + | + | + | + |
技術(shù)參數(shù)2:
Vaclon Plus 75 | Vaclon Plus 150 | Vaclon Plus 300 | Vaclon Plus 500 | ||||||||||
進(jìn)氣口法蘭 | 6” OD CFF | 6” OD CFF | 8” OD CFF | 8” OD CFF | |||||||||
組件類型 | StarCell | Noble Diode | Diode | StarCell | Noble Diode | Diode | StarCell | Noble Diode | Diode | StarCell | Noble Diode | Diode | |
抽速(Saturated Pump at 1-6 mbar) 氮氣 | l/s | 65 | 68 | 75 | 125 | 135 | 150 | 240 | 260 | 300 | 410 | 440 | 500 |
工作壽命(at 1-6 mbar) | Hours | 80 | 50 | 50 | 80 | 50 | 50 | 80 | 50 | 50 | 80 | 50 | 50 |
啟動壓力 | mbar | <10-2 | <10-3 | <10-3 | <10-2 | <10-3 | <10-3 | <10-2 | <10-3 | <10-3 | <10-2 | <10-3 | <10-3 |
烘烤溫度 | °C | 350 | 350 | 350 | 350 | 350 | 350 | 350 | 350 | 350 | 350 | 350 | 350 |
重量 | Kg | 19 | 43 | 69 | 120 | ||||||||
半導(dǎo)體行業(yè)認(rèn)證 | + | – | – | – |
Miniature Pump 離子泵

Vaclon Plus離子泵