香港自动工程有限公司于1972年在香港创立，经过三十多年的发展，自动工程已成为一家在中国(包括香港)的真空泵、风马达、鼓风机、空气压缩机及各类气动元件的专业供应商。自动工程无论在提供优质产品、*、技术支援及配件方面都能够满足客户的不同需要，因此获得客户*的评价及巩固了我公司在真空系统及气动行业上的。我公司分别在深圳、广州、东莞、上海、合肥、天津、济南、成都、重庆设有维修服务部中心为客户将提供快捷、*的*。

主要经销品牌有美国GAST真空泵、压缩泵、鼓风机及气动马达；德国BECKER真空泵、印刷泵及鼓风机：德国LEYBOLD真空泵；日本FUJI鼓风机、德国SIEMENS鼓风机、中国台湾KAWAKE真空泵、鼓风机等系列产品的销售与售后服务。

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VacIonPlus离子和TPS钛升华组合泵从上世纪五十年代，由瓦里安公司首先发明的溅射离子泵问世以来，越来越多的新设计和新技术投入使用，其中大部分源自瓦里安公司，即现在的安捷伦科技

Vaclon Plus 离子泵 / TSP 钛升华泵 / 离子和钛升华组合泵产品详情

VacIon Plus 离子和 TPS 钛升华组合泵

从上世纪五十年代，由瓦里安公司首先发明的溅射离子泵问世以来，越来越多的新设计和新技术投入使用，其中大部分源自瓦里安公司，即现在的安捷伦科技。从一台二极型离子泵，到三极型离子泵，再到Starcell 系列产品乃至世界闻名的VacIon Plus 产品家族等。

VacIon Plus离子泵

VacIon Plus 是安捷伦科技旗下的的离子泵产品家族，包括全系列离子泵、控制电源、可选配件及附件。可为各种应用提供相应解决方案。除标准产品外，安捷伦科技还为特定应用提供包括电源及相关附件在内的专属解决方案，以满足用户对起始工作压强、离子泵工作范围以及不同成份混合气体等指标的特殊要求。
VacIon Plus 离子泵产品家族拥有Diode 二极型、Noble Diode 钽阴极二极型以及Starcell 三极型泵在内的全系列产品，以超高真空获得技术为众多应用领域服务。除MiniVac 和Dual 两款离子泵电源外，4UHV 离子泵控制器则为不同应用提供了更为丰富的选择。

钛升华复合型离子泵

钛升华复合型离子泵将两种抽气原理合二为一：

钛升华过程针对活性气体提供了的抽速，而同时Starcell 离子泵则有效清除如氩气等惰性气体和甲烷等非活性气体。复合型泵通过额外的法兰将钛升华泵源以及低温筒集成在泵体当中。安捷伦科技还可针对客户的特殊需求提供定制产品。

4UHV控制器 – 专为超高真空设计

的安捷伦4UHV 离子泵控制器能同时控制四台离子泵，可对泵进行独立操作，并且支持各个型号（包括Diode，Noble Diode，StarCell）。LCD 显示可同时读取并显示四通道信息，包括离子泵电压，电流和压力。可变电压能够读取抽速和压力。标配内置设定点，远程操作，以及RS232/485 电脑交互界面。

產品特點:

优化设计的单元结构尺寸和形状
特别设计的陶瓷绝缘材料
三种不同的抽气单元可以满足抽除种混合气体和特殊应用的要求 (二级泵, Noble二级泵（钽）, 及拥有的StarCell 三级泵)
各种抽速范围的离子泵
安捷伦真空采用了的高真空处理工艺来确保离子泵的品质
根据用户特殊要求设计定制
可选配相应的烘烤加热装置，以更妥善地烘烤泵体

技术参数1：

		Miniature Pump	2 l/s Pump	10 l/s Pump	Vaclon Plus 20			Vaclon Plus 40			Vaclon Plus 55
进气口法兰					2 ¾” OD CFF			2 ¾” OD CFF			4 ½” OD CFF
组件类型		Diode	Diode	Diode	StarCell	Noble Diode	Diode	StarCell	Noble Diode	Diode	StarCell	Noble Diode	Diode
抽速(Saturated Pump at 1-6 mbar) 氮气	l/s	0.2	2	10	20	22	27	34	36	40	50	53	55
工作寿命(at 1-6 mbar)	Hours	N/A	8000	40000	80	50	50	80	50	50	80	50	50
启动压力	mbar	1 x 10^-4	1 x 10^-4	≤1 x 10^-4	<10^-2	<10^-3	<10^-3	<10^-2	<10^-3	<10^-3	<10^-2	<10^-3	<10^-3
烘烤温度	°C	400 (without magnet)150 (with magnet)	400 (without magnet)150 (with magnet)	350	350	350	350	350	350	350	350	350	350
重量	Kg	0.3	0.3	4	7			17			18
半导体行业认证		–	–	+	+			+			+

技术参数2：

		Vaclon Plus 75			Vaclon Plus 150			Vaclon Plus 300			Vaclon Plus 500
进气口法兰		6” OD CFF			6” OD CFF			8” OD CFF			8” OD CFF
组件类型		StarCell	Noble Diode	Diode	StarCell	Noble Diode	Diode	StarCell	Noble Diode	Diode	StarCell	Noble Diode	Diode
抽速(Saturated Pump at 1-6 mbar) 氮气	l/s	65	68	75	125	135	150	240	260	300	410	440	500
工作寿命(at 1-6 mbar)	Hours	80	50	50	80	50	50	80	50	50	80	50	50
启动压力	mbar	<10^-2	<10^-3	<10^-3	<10^-2	<10^-3	<10^-3	<10^-2	<10^-3	<10^-3	<10^-2	<10^-3	<10^-3
烘烤温度	°C	350	350	350	350	350	350	350	350	350	350	350	350
重量	Kg	19			43			69			120
半导体行业认证		+			–			–			–

Miniature Pump 离子泵

Vaclon Plus离子泵

4UHV控制器

关键词：标准绝缘材料

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