三坐標測量儀是指在一個六面體的空間范圍內(nèi)，能夠表現(xiàn)幾何形狀、長度及圓周分度等測量能力的儀器，又稱為三坐標測量機或三坐標量床。三坐標測量儀又可定義“一種具有可作三個方向移動的探測器，可在三個相互垂直的導軌上移動，此探測器以接觸或非接觸等方式傳遞訊號，三個軸的位移測量系統(tǒng)（如光柵尺）經(jīng)數(shù)據(jù)處理器或計算機等計算出工件的各點（x，y，z）及各項功能測量的儀器”。三坐標測量儀的測量功能應包括尺寸精度、定位精度、幾何精度及輪廓精度等。

　　單支柱測量臺移動型三坐標測量儀介紹：

　　單支柱測量臺移動型，軸為主軸在垂直方向移動，支柱上附有軸導槽，支柱被固定在測量儀本體上。測量時，測量臺在水平面上沿著軸和軸方向作移動。

　　軸移動懸臂型三坐標測量儀介紹：

　　軸移動懸臂型，軸為主軸在垂直方向移動，廂形架導引主軸沿著垂直軸的水平懸臂梁在軸方向移動，懸臂梁沿著在水平面的導槽在軸方向移動，且垂直于軸和軸。此型為三邊開放，容易裝拆工件，且工件可以伸面即可容納較大工件，但因懸臂會造成精度不高。

　　移動橋架型三坐標測量儀介紹：

　　移動橋架型，為常用的三坐標測量儀的結構，軸為主軸在垂直方向移動，廂形架導引主軸沿水平梁在方向移動，此水平梁垂直軸且被兩支柱支撐于兩端，梁與支柱形成“橋架”，橋架沿著兩個在水平面上垂直和軸的導槽在軸方向移動。因為梁的兩端被支柱支撐，所以可得到小的撓度，且比懸臂型有較高的精度。

　　三坐標測量儀機型介紹：

　　結構型式：三軸花崗巖、四面全環(huán)抱的德式活動橋式結構

　　傳動方式：直流伺服系統(tǒng) 預載荷高精度空氣軸承

　　長度測量系統(tǒng)：RENISHAW開放式光柵尺，分辨率為0.1μm

　　測頭系統(tǒng)：雷尼紹控制器、雷尼紹測頭、雷尼紹測針

　　機 臺：高精度（00級）花崗巖平臺

　　使用環(huán)境：溫度(20±2)℃，濕度40%-70% ，溫度梯度1℃/m，溫度變化 1℃/h

　　空氣壓力：0.4 MPa - 0.6 Mpa

　　空氣流量：25 L/min

　　長度精度MPEe： ≤2.1 L/350 (μm)

　　探測球精度MPEp： ≤2.1μm

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