小型電子束蒸發(fā)源 | ||
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應(yīng)用 | ||
應(yīng)用:單元,多元及多元組合(多至四種材料)共蒸發(fā)多種材料獲得超純薄膜沉積。 | ||
技術(shù)指標(biāo) | ||
*多種型號可選: EGN1;EGN4;EGCO4;H-PEB4 單電源供電,四種材料共蒸發(fā)下各種材料蒸發(fā)速率獨立可調(diào)。根據(jù)應(yīng)用需要,多數(shù)材料 蒸發(fā)速率可控低與0.1A/min 或高于300A/min *高效直接水冷源體,低系統(tǒng)熱載避免環(huán)境放氣及粒子生成 *蒸發(fā)材料可為棒材或粉抹 *多元蒸發(fā)材料源體設(shè)置防交叉污染隔板及擋板,手動和自動控制模式可選 *實時蒸發(fā)束流的監(jiān)測和控制 |