產(chǎn)品名稱:熱式氣體質(zhì)量流量控制器 產(chǎn)品型號:S48 28/HMT S48-28/HMT |
- 良好的線性——多段線性補償
- 快速的響應(yīng)
- 電磁閥使用壽命≥100萬次
- 對零點漂移有效的抑制
- 化的零配件供應(yīng) ——傳感器、分流器、精密元器件日本進口
- 良好的選擇性
編號 項目 S48 28/HMT 1 流量規(guī)格 (100,150,200)L/min 2 調(diào)節(jié)閥類型 電磁調(diào)節(jié)閥 3 調(diào)節(jié)閥靜止?fàn)顟B(tài) 常閉 4 安裝角度 任意 5 流量控制范圍 5%~99% 6 流量測量范圍 0~99% 7 響應(yīng)時間 2s(T98,設(shè)定值的±2% F.S.) 8 工作環(huán)境溫度 5℃~50℃ 9 精度保證溫度 15℃~35℃ 10 精度 ±1.0%F.S. 11 線性精度 ±0.5%F.S. 12 重復(fù)性 ±0.2%F.S. 13 工作壓差 (100/150/200)L/min:(100/150/200)~300kPa 14 耐壓 3MPa 15 泄漏率 1×10-8 Pa•m3/s (He) 16 接觸氣體材料 316L,PTFE,Viton氟橡膠 17 管路接頭 Swagelok:3/8″ Φ10 VCR:1/2″
VCR:1/4″3/8″18 供電電源 ±15VDC(±5%)
+15V,<100mA;-15V,<200mA+24VDC(寬電壓+11~+25V),
<350mA(+24VDC供電時)19 設(shè)定信號 (0~5)VDC 輸入阻抗>1MΩ 4~20mA;(可定制:1~5V或0~5V) 20 流量輸出信號 (0~5)VDC 負載能力≤3mA 21 電氣接頭 D-SUB15,D-SUB9 22 重量(kg) 2.8
產(chǎn)品名稱:熱式氣體質(zhì)量流量控制器 貨 號:28590 產(chǎn)品型號:S48 28/HMT S48-28/HMT |
- 良好的線性——多段線性補償
- 快速的響應(yīng)
- 電磁閥使用壽命≥100萬次
- 對零點漂移有效的抑制
- 化的零配件供應(yīng) ——傳感器、分流器、精密元器件日本進口
- 良好的選擇性
編號 項目 S48 28/HMT 1 流量規(guī)格 (100,150,200)L/min 2 調(diào)節(jié)閥類型 電磁調(diào)節(jié)閥 3 調(diào)節(jié)閥靜止?fàn)顟B(tài) 常閉 4 安裝角度 任意 5 流量控制范圍 5%~99% 6 流量測量范圍 0~99% 7 響應(yīng)時間 2s(T98,設(shè)定值的±2% F.S.) 8 工作環(huán)境溫度 5℃~50℃ 9 精度保證溫度 15℃~35℃ 10 精度 ±1.0%F.S. 11 線性精度 ±0.5%F.S. 12 重復(fù)性 ±0.2%F.S. 13 工作壓差 (100/150/200)L/min:(100/150/200)~300kPa 14 耐壓 3MPa 15 泄漏率 1×10-8 Pa•m3/s (He) 16 接觸氣體材料 316L,PTFE,Viton氟橡膠 17 管路接頭 Swagelok:3/8″ Φ10 VCR:1/2″
VCR:1/4″3/8″18 供電電源 ±15VDC(±5%)
+15V,<100mA;-15V,<200mA+24VDC(寬電壓+11~+25V),
<350mA(+24VDC供電時)19 設(shè)定信號 (0~5)VDC 輸入阻抗>1MΩ 4~20mA;(可定制:1~5V或0~5V) 20 流量輸出信號 (0~5)VDC 負載能力≤3mA 21 電氣接頭 D-SUB15,D-SUB9 22 重量(kg) 2.8