微波等離子化學氣相沉積技術(PECVD、MPCVD),通過等離子增加前驅體的反應速率,降低反應溫度。適合工業(yè)生產處理,實驗室研究開發(fā).....
微波等離子體的#勢:
1、有較高的電離和分解程度
2.電子溫度和離子溫度對中性氣體溫度之比非常高,運載氣體保持合適的溫度。這個特性,可使基底的溫度不會過高。
3.能在高氣壓下維持等離子體。
4.在等離子容器內,沒有工作氣體以外的任何物質,是潔凈的,
5.安全因素高。高壓源和等離子體發(fā)生器互相隔離,這是直流等離子體不能達到的。
微波技術參數(shù)
微波頻率:2.45GHz
微波功率:1-3KW
控制方式:PLC控制
專業(yè)生產廠家專研技術支持,特殊工藝要求支持定制。
微波技術參數(shù)
微波頻率:2.45GHz
微波功率:1-3KW
控制方式:PLC控制
專業(yè)生產廠家專研技術支持,特殊工藝要求支持定制。