精確的路徑位移定位

自定義圖形加載功能

可以在納米級尺度上加工任意需要的復雜結構

利用電致刻蝕技術，可以在納米級尺度上加工任意需要的復雜結構。

電致刻蝕主要由一個施加在樣品與表面間的脈沖電壓引起，當所加電壓超過閾值時，暴露在電場下的樣品表面會發(fā)生化學或物理變化。這些變化或者可逆或者不可逆，其機理可以直接歸因于電場效應，高度局域化的強電場可以誘導原子的場蒸發(fā)，也可以由電流焦耳熱或原子電遷移引起樣品表面的變化。通過控制脈沖寬度和脈幅可以限制刻蝕表面的橫向分辨率，這些變化通常不僅表現(xiàn)在表面形貌上，通過檢測其導電性、dI/dS、dI/dV、摩擦力還可以分辨出襯底的修飾情況。

操縱微探針以可控的作用力對樣品表面進行局域施壓,使樣品發(fā)生彈性/塑性形變；也可在施壓的同時，控制探針以一定的路徑和速度在樣品運動，對樣品進行機械刻畫。

基于掃描探針顯微鏡(SPM)系統(tǒng)的壓痕/機械刻畫功能，為在納米尺度上評價材料的機械和運動性能，或在樣品表面構建特定的納米結構提供了一種方便實用的研究手段。

系統(tǒng)提供一個向量腳本編譯器，允許用戶任意掃描方向、距離、速度及加工參數(shù)（如作用力、電流、電壓等），直接操縱探針運動，同時靈活測定各種信號和數(shù)據(jù)。

DPN(Dip-Pen Nanolithography)浸潤筆利用已作過分子修飾的探針，通過控制探針與樣品間的相互作用條件，來實現(xiàn)探針針尖到樣品表面的分子傳輸。

DPN實際上是一種簡便的從探針針尖到樣品表面的輸運分子的方法，其分辨率可媲美電子束刻蝕等方法，對納米器件的功能化更為有用。