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等離子體流動(dòng)控制設(shè)備 產(chǎn)品介紹
LFIX系列氣流控制系統(tǒng)由質(zhì)量流量傳感器、熱式原件、質(zhì)量流量調(diào)節(jié)閥和壓力檢測組件等組成,它利用流動(dòng)的流體不同的流量效應(yīng)而制成,其原理是采用量熱法原理測量氣體的質(zhì)量流量,并分別控制各自氣體的流量,進(jìn)入混合器進(jìn)行精密混合,將混合后的氣體按需輸出給用氣點(diǎn),同時(shí)設(shè)備自帶多種測量原件對氣體進(jìn)行檢測,保證混合的..性。
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產(chǎn)品用途
廣泛的應(yīng)用于真空鍍膜設(shè)備、半導(dǎo)體工藝設(shè)備、化學(xué)化工實(shí)驗(yàn)設(shè)備、分析儀器、冶金材料工程、能源動(dòng)力等各領(lǐng)域.
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產(chǎn)品特點(diǎn)
氣流控制系統(tǒng)能準(zhǔn)確可靠的測量和控制氣體質(zhì)量流量,測量和控制精度高、零飄小,測量和控制范圍寬,測量和控制的準(zhǔn)確度不受環(huán)境溫度和外界壓力的影響,為半導(dǎo)體設(shè)備提供氮?dú)饪刂萍暗獨(dú)鉁囟鹊目刂茰y量,保證半導(dǎo)體設(shè)備能夠正常運(yùn)行。