大型半導(dǎo)體真空探針臺
鄭州科探儀器設(shè)備有限公司為用戶提供了高性價比配置的真空高低溫探針臺,該系統(tǒng)配置了溫度控制系統(tǒng),為用戶提供精準(zhǔn)、穩(wěn)定、高效的溫度控制,節(jié)約用戶的設(shè)備預(yù)算。
配套了高精度PID溫度控制器,用戶可以清楚直觀地了解了整體系統(tǒng)相關(guān)位置的溫度情況,確保溫度測試的可靠性。同時,200W 大功率直流輸出,可讓樣品臺快速從-196℃上升至400℃,極大地提供了溫控效率,為用戶節(jié)省大量寶貴的實(shí)驗(yàn)時間。由于系統(tǒng)中溫控部件均為直流配置,也大大地減少了加熱部件的干擾,提供了系統(tǒng) 的漏電精度。
高性能、寬溫度范圍的高低溫探針臺系統(tǒng)
除了高性價比入門級配置,鄭州科探儀器設(shè)備有限公司還為用戶研發(fā)了高性價比配置的真空高低溫探針臺系統(tǒng)。溫度控制系統(tǒng),為用戶提供精準(zhǔn)、穩(wěn)定且高效的溫度控制。
真空高低溫探針臺系統(tǒng),使用國際上*的溫度控制系統(tǒng)和傳感器,溫度范圍為77.15K至673.15K(-196攝氏度到400攝氏度),溫度穩(wěn)定性可達(dá)0.1K。
大型半導(dǎo)體真空探針臺
高低溫探針臺系統(tǒng)達(dá)到≤10Pa即可進(jìn)行低溫測試而無凝露或結(jié)霜。對于選用了入門級配置的用戶,可選用雙極旋片式機(jī)械泵即可達(dá)到目標(biāo)真空度,從而減少設(shè)備的配置預(yù)算。對于真空度有更高要求的用戶,可選用分子泵組對系統(tǒng)進(jìn)行抽真空。低溫探針臺系統(tǒng)可達(dá)10-3Pa。也可選配更高真空度的泵組,以滿足測試要求。
為了減少泵組的振動,我們還專門為用戶設(shè)計了隔振器,地衰減泵組工作時產(chǎn)生的振動,以確保系統(tǒng)的穩(wěn)定,減少探針的漂移。
可選多種樣品臺配置
普通的樣品夾具。們也提供同軸或三同軸配置的樣品夾具,用于超低漏電測試應(yīng)用中。所有樣品夾具表面均有鍍金層,增強(qiáng)樣品的導(dǎo)電性能。
*的屏蔽及熱沉技術(shù)
待測器件的溫度會受到輻射及周邊部件熱傳導(dǎo)的影響,因此,如果沒有完善的熱錨技術(shù),將無法得到精準(zhǔn)可靠的目標(biāo)溫度。由于傳感器只是安裝在恒溫器上,而不是安裝在的溫度實(shí)際將比您在控制器上觀察到的溫度要高出許多。
高真空探針臺冷熱型鄭科探
四
應(yīng)用范圍:
l 光伏工業(yè)
l 材料科學(xué)
l 光電行業(yè)
l 失效分析
l 通信器件測試
l 微機(jī)電技術(shù)
l 高頻/微波測試
l 半導(dǎo)體技術(shù)
KT-Z1604T 高真空探針臺冷熱型鄭科探
真空腔體 | |
腔體材質(zhì) | 304不銹鋼 |
上蓋開啟 | 鉸鏈側(cè)開 |
加熱臺材質(zhì) | 304不銹鋼 |
內(nèi)腔體尺寸 | φ160x90mm |
觀察窗尺寸 | Φ70mm |
加熱臺尺寸 | φ60mm |
觀察窗熱臺間距 | 75mm |
加熱臺溫度 | ﹣196~350℃ |
加熱臺溫控誤差 | ±1℃ |
真空度 | 機(jī)械泵≤10Pa 分子泵≤10-3Pa |
允許正壓 | ≤0.1MPa |
真空抽氣口 | KF25真空法蘭 |
氣體進(jìn)氣口 | 3mm-6mm卡套接頭 |
電信號接頭 | SMA轉(zhuǎn)BNC X 4 |
電學(xué)性能 | 絕緣電阻 ≥4000MΩ 介質(zhì)耐壓 ≤500V |
探針數(shù)量 | 4探針 |
探針材質(zhì) | 鎢針 |
探針尖 | 10μm |
探針移動平臺 | |
X軸移動行程 | 30mm ±15mm |
X軸控制精度 | ≤0.01mm |
Y軸移動行程 | 13mm ±12.5mm |
Y軸控制精度 | ≤0.01mm |
Z軸移動行程 | 13mm ±12.5mm |
Z軸控制精度 | ≤0.01mm |
電子顯微鏡 | |
顯微鏡類別 | 物鏡 |
物鏡倍數(shù) | 0.7-4.5倍 |
工作間距 | 90mm |
相機(jī) | sony 高清 |
像素 | 1920※1080像素 |
圖像接口 | VGA |
LED可調(diào)光源 | 有 |
顯示屏 | 8寸 |
放大倍數(shù) | 19-135倍,視場范圍15×13-2.25×1.7mm,最小可分辨0.08mm |