FS5001流量傳感器簡介:
FS5001小流量氣體質(zhì)量流量傳感器是專門為各類小流量氣體的測量和過程控制而設(shè)計的。這 系列傳感器均采用本公司自主研發(fā)的微機電系統(tǒng)(MEMS)流量傳感芯片來制作,適用于各類清潔、干燥氣體。的封裝技術(shù)使之在相同的管徑下可測量不同范圍的流量,成本低、易安裝、不需要溫度壓力補償,可替代容積式或壓差式的傳統(tǒng)流量傳感器并配以多種信號輸出,通過通訊接口可實現(xiàn)對傳感器的靈活配置與參數(shù)查詢。
產(chǎn)品特點:
傳感器靈敏度高,有極小的始動流量
傳感器芯片采用熱質(zhì)量流量計量,無需溫度壓力補償,保證了傳感器的高精度計量
在單個芯片上實現(xiàn)了多傳感器集成,使其量程比達到了100:1甚至更高
貼壁式安裝,無直管段要求,易于安裝與使用
輸出方式靈活,既可通過通訊接口主動上傳數(shù)據(jù)(RS232)或由上位機查詢輸出數(shù)據(jù)(RS232 / I2C),也可通過模擬接口輸出線性的模擬電壓
零點穩(wěn)定度高
全量程高穩(wěn)定性、高精確度和優(yōu)良的重復(fù)性
低功耗、低壓損
響應(yīng)速度快
FS5001流量傳感器參數(shù):
技術(shù)參數(shù):
FS5001 | ||
量程范圍 | 0~20,50,200,500,1000,或根據(jù)客戶需求定制 | sccm |
量程比 | >100:1 | |
精度 | ±(1.5±0.2FS) | % |
重復(fù)性 | ±0.75 | % |
零點輸出飄逸 | ±30 | mV |
輸出飄逸 | 0.16 | %/oc |
響應(yīng)時間 | 100(默認(rèn),50,100,200,500,100設(shè)置) | ms |
工作電源 | 8~18Vdc,50mA | |
輸出方式 | RS232,I2C,模擬電壓0.5~4.5Vdc | |
大流量壓損 | 900 | Pa |
大流量壓力 | 0.8 | MPa |
工作溫度 | -5~+45 | oC |
存儲溫度 | -20~+55 | oC |
工作濕度 | <95%RH(無結(jié)冰、無凝露) | |
機械接口 | M,Rc,NPT,4mm,6mm快速接頭(配轉(zhuǎn)接模塊) | |
校準(zhǔn)方式 | 空氣(或其他氣體),20oC,101.325kPa | |
重量 | 17.5 | g |