日立新型高分辨場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡SU8000系列--SU8020
日立2011年新推出了SU8000系列高分辨場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡,其中SU8020不光1kv的分辨率提升到1.3nm,并且在探測(cè)器設(shè)計(jì)上有新的突破,配置了Lower、Up-per和Top三個(gè)Everhart-Thornley型探測(cè)器,可以接受SE、LA-BSE和HA-BSE多種信號(hào),實(shí)現(xiàn)微區(qū)的形貌襯度、原子序數(shù)襯度、結(jié)晶襯度和電位襯度的觀測(cè);結(jié)合選配的STEM探測(cè)器,還可以實(shí)現(xiàn)明場(chǎng)像和暗場(chǎng)像的觀測(cè);此外在半導(dǎo)體應(yīng)用中,還可以安裝EBIC探測(cè)器,采集感生電流圖像,極大豐富了信號(hào)的采集,對(duì)樣品的信息的收集達(dá)到了新的高度。
特點(diǎn):
1. 優(yōu)秀的低加速電壓成像能力,1kv分辨率可達(dá)1.3nm
2. 日立的ExB設(shè)計(jì),不需噴鍍,可以直接觀測(cè)不導(dǎo)電樣品
3. 配置Lower、Upper和Top三個(gè)Everhart-Thornley型探測(cè)器
4. Upper和Top探頭均可選擇接受二次電子像或背散射電子像
5. 可以根據(jù)樣品類型和觀測(cè)要求選擇打開或關(guān)閉減速功能
6. 標(biāo)配有冷指、電子槍內(nèi)置加熱器,物鏡光闌具有自清潔功能
7. 儀器的烘烤維護(hù)及烘烤后的透鏡機(jī)械對(duì)中均可由用戶自行完成
項(xiàng)目 | SU8020 | SU8030 | SU8040 | |||||
二次電子分辨率 | 1.0nm (加速電壓15kV、WD=4mm) | |||||||
1.3nm (加速電壓1kV、WD=1.5mm) | ||||||||
加速電壓 | 0.1~30kV | |||||||
觀測(cè)倍率 | 20~8000,000(底片輸出) | |||||||
60~2,000,000(顯示器輸出) | ||||||||
樣品臺(tái) | ||||||||
馬達(dá)驅(qū)動(dòng) | 5軸 | REGULUS樣品臺(tái) | ||||||
行程 | X | 0~50mm | 0~110mm | |||||
Y | 0~50mm | 0~110mm | 0~80mm | |||||
Z | 360° | |||||||
T | -5~70° | |||||||
R | 1.5~30mm | 1.5~40mm | ||||||
裝載尺寸 | 100mm() | 150mm() | 150mm() | |||||
150mm(選配) | 200mm(選配) | |||||||
探頭 | ||||||||
標(biāo)配 | Lower | 高立體感圖像 | ||||||
Upper | 高分辨SE、LA-BSE圖像 | |||||||
Top | SE的電位襯度像、HA-BSE圖像 | |||||||
選配 | STEM | 明場(chǎng)像、暗場(chǎng)像 | ||||||
YAG 探頭 | BSE圖像 | |||||||
半導(dǎo)體探頭 | BSE圖像 | |||||||
EBIC | 電子束感生電流圖像 | |||||||
EDS | 元素分析 | |||||||
反污染措施 | ||||||||
冷指 | 標(biāo)配 | |||||||
物鏡光闌 | 內(nèi)置自清潔功能 | |||||||
電子槍 | 內(nèi)置加熱器 | |||||||
真空系統(tǒng) | ||||||||
離子泵 | 3臺(tái) | |||||||
分子泵 | 1臺(tái) | |||||||
機(jī)械泵 | 1臺(tái) |