名稱 | 參數(shù) |
抽氣速率 | 40m3/h |
極限真空度 | 133Pa |
壓縮機(jī)排氣量 | 15m3/h |
儲(chǔ)氣罐容積 | 300L |
回收終壓 | 1000~5000Pa |
凈化 | 微水<80PPm 微塵<1微米 油霧<2PPm |