Verifire™ ATZ激光干涉儀
Ring of Fire™點(diǎn)光源是Verifire™ AT激光干涉儀獲取清潔圖像的基礎(chǔ),傳統(tǒng)的激光干涉儀用的是相干點(diǎn)光源,在測(cè)試腔中形成相干光。但是,點(diǎn)光源在光路中遇到細(xì)小顆粒時(shí)同時(shí)也會(huì)產(chǎn)生寄生的干涉條紋(牛眼環(huán))。的Ring of Fire™光源系統(tǒng)是只對(duì)光學(xué)腔產(chǎn)生干涉,而將干涉腔外的細(xì)小顆粒產(chǎn)生的干涉條紋遏制,整個(gè)干涉儀的性能得到增強(qiáng),所測(cè)量的性能得到增強(qiáng),所測(cè)量的結(jié)果更令人信服。
高精度的光學(xué)元件和光學(xué)系統(tǒng)需要高性能的測(cè)量技術(shù)和方法,不僅需要具備高速操作簡(jiǎn)單和長(zhǎng)期穩(wěn)定的檢測(cè)設(shè)備和方法,同時(shí)更需要更高精度產(chǎn)品檢測(cè)的需求。ZYGO Verifire™激光干涉儀做開(kāi)創(chuàng)的Ring of Fire™光源技術(shù),消除了長(zhǎng)期困擾的“牛眼環(huán)”所帶來(lái)的測(cè)量上的影響,將測(cè)量精度提高到一個(gè)新的臺(tái)階,同時(shí)配備ZYGO自主開(kāi)發(fā)的Metropro軟件,以及與傳統(tǒng)激光干涉儀互配的各種附件,真正使Verifire™激光干涉儀在高速、簡(jiǎn)易和穩(wěn)定基礎(chǔ)上達(dá)到新的高度??梢哉f(shuō),ZYGO Verifire™激光干涉儀不僅是新一代的激光干涉儀,更是一次新的干涉測(cè)量技術(shù)的ge命。