一、工作原理
AO910系列擴(kuò)散硅壓力傳感器系全部采用進(jìn)口芯片,經(jīng)過精心的結(jié)構(gòu)設(shè)計,信號處理和組裝,并按照國家標(biāo)準(zhǔn)和企業(yè)標(biāo)準(zhǔn),進(jìn)行測試而生產(chǎn)出來的新一代測量元件?;驹硎抢冒雽?dǎo)體的壓阻效應(yīng)和微機(jī)械加工技術(shù),在單晶硅片的特定晶向上,用光刻、擴(kuò)散等半導(dǎo)體工藝制做一惠斯登電橋,形成敏感膜片,當(dāng)受到外力作用時產(chǎn)生微應(yīng)變,電阻率發(fā)生變化,使橋臂電阻發(fā)生變化(一對變大一對變小)在激勵電壓信號輸出,經(jīng)過計算機(jī)溫度補(bǔ)償、激光調(diào)阻、信號放大等處理手段和嚴(yán)格的裝配檢測、標(biāo)定等工藝,生產(chǎn)出具有標(biāo)準(zhǔn)輸出信號的壓力變送器。
二、特點
1、輸出穩(wěn)定靈敏度高
一般應(yīng)變式傳感器輸出僅為10mv左右,而擴(kuò)散硅傳感器滿量程輸出為100mv左右,干擾及噪聲等因素影響相對較小,放大電路成本也相應(yīng)降低,分辨率大大提高。零壓力附近無死區(qū)。
2、精度高,重復(fù)性好
擴(kuò)散硅壓阻式壓力傳感器實現(xiàn)了壓力受感,壓力傳遞力一電轉(zhuǎn)換由同一元件上實現(xiàn),無中間轉(zhuǎn)換環(huán)節(jié),無壓力滯后,無機(jī)械位移變形,保證了極小的重復(fù)性和遲滯誤差,和良好的線性度,無蠕變、穩(wěn)定、可靠、壽命長。
3、良好的溫度特性
由于采用了激光調(diào)阻,計算機(jī)補(bǔ)償?shù)?技術(shù)和巧妙控制擴(kuò)散濃度,實現(xiàn)滿量程溫度漂移(靈敏度溫度系數(shù))自補(bǔ)償??朔税雽?dǎo)體晶片本身溫度系數(shù)大的缺陷,使變送器的零位和滿度溫漂達(dá)到了較高的水準(zhǔn),拓寬了使用溫區(qū)。
4、適合于危險易爆的領(lǐng)域和場所應(yīng)用
擴(kuò)散硅壓力傳感器,變送器具有低電流,低電壓,低功耗的特點,屬于本質(zhì)安全防爆型產(chǎn)品,并已取得了國家安全防爆機(jī)構(gòu)頒發(fā)的防爆證書。
5、高可靠性與抗干擾性能
產(chǎn)品由于采用了不銹鋼材質(zhì)與特殊防護(hù)結(jié)構(gòu),和放大電路的防雷擊、抗干擾、抗過壓、過流等一系列保護(hù)手段,提高了可靠的密封防腐和抗惡劣工作環(huán)境的能力,適合一般工業(yè)現(xiàn)場測量和控制的需要。
三、技術(shù)參數(shù)
1、技術(shù)指標(biāo)
使用對象 液體、氣體或蒸汽
測量范圍 表壓:0~5KPa~3.5MPa , 密封表壓:0~7MPa~100MPa
絕壓: 0~20KPa~35MPa , 負(fù)壓:-0.1MPa~2MPa
輸 出 4~20mADC
電 源 12~36VDC
負(fù)載特性 4~20mADC二線制
溫度范圍 -40℃~+ 85℃
外殼防護(hù) 優(yōu)于IP65
防爆類型 隔爆型dⅡCT6; 本安型iaⅡCT6應(yīng)外配安全柵
2、性能指標(biāo)
綜合精度 精度等級:0.1%、0.2%
穩(wěn)定性 優(yōu)于±0.25%FS/3年
溫度影響 -10℃~+ 60℃范圍內(nèi):變化量小于±0.1%/ 10℃(0.1級)
變化量小于±0.15%/ 10℃(0.2級)
-30℃~ -10℃, 60℃~+ 85℃:變化量小于±0.15%/ 10℃(0.1級)
變化量小于±0.20%/ 10℃(0.2級)
振動影響 在任何方向上振動頻率為20-200Hz時,變化量小于±0.02% BFSL
沖擊影響 任何方向100G沖擊11ms后,變化量小于±0.02% BFSL
負(fù)載影響 只要輸入變送器的端子電壓高于12V,就無負(fù)載影響。
位置影響 安裝位置不影響零點
3、結(jié)構(gòu)指標(biāo)
結(jié)構(gòu)材料 外殼:不銹鋼或低銅鑄鋁
接觸介質(zhì)材料與選擇的傳感器類型及采用的密封方式有關(guān)
全焊接結(jié)構(gòu):316L SS
“O”型圈密封結(jié)構(gòu):丁腈橡膠、聚四氟乙烯或氟橡膠
過程連接 標(biāo)準(zhǔn)提供M20×1.5外螺紋
電氣連接 可根據(jù)需要從任何一個出口引出,建議使用φ10工業(yè)電纜作為引線,以便密封.引出接頭可選用通用電纜接頭PG16或M20×1.5,不引線一端用端蓋封住。
四、結(jié)構(gòu)尺寸
AO910工業(yè)型擴(kuò)散硅壓力變送器
AO910X精巧型擴(kuò)散硅壓力變送器
赫斯曼接頭L≤150
其它引線方式L≤120
AO910Y小型化擴(kuò)散硅壓力變送器
AO910Z衛(wèi)生型擴(kuò)散硅壓力變送器(平面膜結(jié)構(gòu))