特點(diǎn): 高精度,多用途的層流式質(zhì)量流量計(jì) ■ 精度可達(dá)讀數(shù)的 ±0.8%, 滿量程的±0.2%;重現(xiàn)性為±0.2% ■ 可測(cè)量20種標(biāo)準(zhǔn)氣體-根據(jù)顯示可選 ■ 流量在1 SCCM范圍內(nèi)1%~99%可調(diào)節(jié),量程可達(dá)1000 SLPM ■ 具有NIST追蹤證書(shū) 這種流量計(jì)通過(guò)測(cè)量氣體通過(guò)層流器(LFE)產(chǎn)生的壓降來(lái)測(cè)量氣體流量。 因?yàn)閷恿髌饕呀?jīng) 將氣流分層,因此無(wú)需在流量計(jì)上再使用逆流或順流直管,極大地簡(jiǎn)化了流量計(jì)的安裝過(guò)程。 同熱質(zhì)量技術(shù)相比,LFE設(shè)計(jì)具有超短的反應(yīng)時(shí)間(10毫秒以內(nèi)),可直接使用而無(wú)需預(yù)熱 等待。 使用顯示屏周邊環(huán)繞的連體鍵盤即可完成全部編程操作。 可通過(guò)0~5 VDC信號(hào)將流量值輸 出到遠(yuǎn)程顯示屏,記錄儀或用于調(diào)節(jié)閥門/泵的控制器上。 流量控制器具有積分PID功能,可以隨流量要求的變化而做出調(diào)節(jié)。 可使用鍵盤,可選的 設(shè)定控制模塊,0~5V信號(hào)或RS-232輸入信號(hào)進(jìn)行流速設(shè)定。 設(shè)定控制模塊訂購(gòu)信息見(jiàn)下 表。 訂購(gòu)使用下表中的電池包,可實(shí)現(xiàn)流量計(jì)便攜式使用。 隨機(jī)配備: 廠商提供的NIST追蹤證書(shū),120/230 VAC電源適配器,帶通訊線。 參數(shù) 顆粒尺寸 1 LPM以內(nèi)的型號(hào): 20 µm 1 LPM ~1000 LPM的型號(hào): 50 µm 精度: 讀數(shù)的±0.8%;±0.2% 滿量程 重現(xiàn)性: ±0.2% 反應(yīng)時(shí)間 流量計(jì): 10 msec 流量控制器: 50 msec 使用溫度: -10~50°C 壓力: 10 bar 壓力降: 0.05~0.20 bar (流量計(jì)) 輸出信號(hào): 0~5 VDC, RS-232, 0~10 VDC 輸入信號(hào): 0~5 VDC, RS-232, 0~10 VDC 浸潤(rùn)部件 流量計(jì): 302和303 SS, Viton®, 硅酮RTV,和玻璃強(qiáng)化尼龍,鋁 流量控制 器: 302, 303 SS; Viton, 硅酮RTV, 玻璃強(qiáng)化尼龍, 鋁, 黃銅, 410 SS, 硅, 玻璃。 流速范圍 | 質(zhì)量流量計(jì) | 質(zhì)量流量控制器 | 設(shè)定控制模塊‡ | 目錄號(hào) | 目錄號(hào) | 目錄號(hào) | 0.01~1 mL/min | TM-32908-51 | TM-32907-51 | TM-32907-83 | 0.05~5 mL/min | TM-32908-53 | TM-32907-53 | TM-32907-85 | 0.1~10 mL/min | TM-32908-55 | TM-32907-55 | TM-32907-87 | 0.5~50 mL/min | TM-32908-57 | TM-32907-57 | TM-32907-89 | 1~100 mL/min | TM-32908-59 | TM-32907-59 | TM-32907-91 | 2~200 mL/min | TM-32908-61 | TM-32907-61 | TM-32907-93 | 5~500 mL/min | TM-32908-63 | TM-32907-63 | TM-32907-97 | 0.01~1 LPM | TM-32908-67 | TM-32907-67 | TM-32907-83 | 0.05~5 LPM | TM-32908-69 | TM-32907-69 | TM-32907-85 | 0.1~10 LPM | TM-32908-71 | TM-32907-71 | TM-32907-87 | 0.5~50 LPM | TM-32908-73 | TM-32907-73 | TM-32907-89 | 1~100 LPM | TM-32908-75 | TM-32907-75 | TM-32907-91 | 2.5~250 LPM | TM-32908-77 | TM-32907-77 | TM-32907-95 | 5~500 LPM | TM-32908-79 | TM-32907-79 | TM-32907-97 | 10~1000 LPM | TM-32908-81 | TM-32907-81 | TM-32907-99 | |