光學(xué)顯微鏡具備明暗場、微分干涉、偏光等多種觀察功能。支持 300mm 晶圓及 17英寸液晶面板的檢查，含 4、6、8、12英寸多種轉(zhuǎn)盤，可適用不同尺寸的晶圓檢查。人機工程學(xué)設(shè)計全面提升，為用戶提供更加舒適、靈活、快捷的操作體驗。可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、PCB、LCD、手機產(chǎn)業(yè)鏈、光通訊、基礎(chǔ)電子、模具五金、科研、汽車行業(yè)、計量行業(yè)等領(lǐng)域的檢測。
多檔分光比觀察頭設(shè)計
觀察筒，采用寬光束成像系統(tǒng)設(shè)計，支持26.5mm 的超寬視野觀察，帶給您全新的大視野體驗。兩檔式正像鉸鏈三目觀察筒，保證樣品的移動方向與您通過目鏡觀察到的方向一致，使操作更加得心應(yīng)手。
三檔式鉸鏈三目觀察筒，在成像光線99% 用于雙目觀察或三目攝影的基礎(chǔ)上，增加一檔20% 用于雙目觀察，80% 用于顯微攝影，方便用戶同時對鏡下圖像與視頻圖像進行對比觀察；
三檔式鉸鏈三目觀察筒，在成像光線99% 用于雙目觀察或三目攝影的基礎(chǔ)上，增加一檔20% 用于雙目觀察，80% 用于顯微攝影，方便用戶同時對鏡下圖像與視頻圖像進行對比觀察；
偏振系統(tǒng)
偏振系統(tǒng)包括起偏器和檢偏器，可做偏光檢測，在半導(dǎo)體和PCB 檢測中，可消除雜光，細節(jié)更清楚。檢偏器分為固定式檢偏器和360 度旋轉(zhuǎn)式檢偏器。360°旋轉(zhuǎn)式檢偏器可在不移動標(biāo)本的情況下，方便的觀察標(biāo)本在不同偏振角度光線下呈現(xiàn)的狀態(tài)。可在偏振系統(tǒng)的基礎(chǔ)上加載舜宇全新研發(fā)微分干涉器，建立諾曼爾斯基微分干涉襯比系統(tǒng)。
諾曼爾斯基微分干涉襯比系統(tǒng)
全新研發(fā)的U-DICR 微分干涉組件，可以將明場觀察下無法檢測的細微高低差，轉(zhuǎn)化為高對比度的明暗差并以立體浮雕形式表現(xiàn)出來，如LCD 導(dǎo)電粒子，精密磁盤表面劃痕等。
物鏡轉(zhuǎn)換器，多孔可選
多孔物鏡轉(zhuǎn)換器可以對同一個標(biāo)本的觀測點進行連續(xù)的更加合理的低、中、高放大倍率觀察。全新的物鏡轉(zhuǎn)換器將光軸與轉(zhuǎn)動軸之間的夾角降低到15°，提高了對中精度和齊焦精度，且外觀更加緊湊。
技術(shù)參數(shù)
| 光學(xué)系統(tǒng) | 無限遠色差校正光學(xué)系統(tǒng) |
| 觀察頭 | 三目觀察筒 ,45°傾斜 , 鉸鏈組可 360°旋轉(zhuǎn) , 固定式目鏡筒 , 瞳距調(diào)節(jié)范圍 50-75mm, 兩檔式分光比 ：雙目 : 三目 =100 ：0 或 0 ：100 |
| 目鏡 | 高眼點大視野平場目鏡 PL10X/22mm, 視度可調(diào)，可帶測微尺 |
| | 高眼點大視野平場目鏡 PL15X/16mm, 視度可調(diào) |
| 物鏡 | 無限遠長工作距平場消色差金相物鏡 5X、10X、20X、50X、100X |
| | 無限遠長工作距平場明暗場消色差金相物鏡 5X、10X、20X、50X、100X |
| 物鏡轉(zhuǎn)換器 | 內(nèi)定位 5 孔明場轉(zhuǎn)換器（帶 DIC 插槽），內(nèi)置倍率傳感器 |
| | 內(nèi)定位 5 孔明暗場轉(zhuǎn)換器（帶 DIC 插槽），內(nèi)置倍率傳感器 |
| 機架 | 反射明暗場金相機架 , 采用低手位粗微調(diào)同軸 , 粗調(diào)行程 9mm, 焦面向上 6.5mm, 向下 2.5mm, 微調(diào)精度 0.002mm, 帶有防止下滑的松緊調(diào)節(jié)手輪 |
| | 帶明暗場切換裝置 , 帶可變視場光闌、孔徑光闌，中心均可調(diào)；帶濾色片插槽與偏光裝置插槽 , 帶燈源亮度指示條,帶紅外感應(yīng)和物鏡倍率顯示功能 |
| 照明系統(tǒng) | 采用外置式寬電壓變壓器 , 輸入 100-240V, 輸出 15V13.4A, 亮度連續(xù)可調(diào) |
| 載物臺 | 三層機械移動平臺，平臺尺寸 ：240（W）×250（L），移動范圍 50×50mm，雙向線軌傳動，右手低手位控制 |
| 攝影攝像附件 | 0.35X、0.5X、0.65X、1X，C 型接口，可調(diào)焦 |
| 其他 | 起偏鏡插板，固定式檢偏鏡插板，360°旋轉(zhuǎn)式檢偏鏡插板 ； DIC 微分干涉組件 ；濾色片組 ；高精度測微尺 |
