分辨率 | 1.1 nm (0.5 kV)*1、1.0 nm*2 0.7 nm (1 kV)*1、0.7 nm*2 0.7 nm (15 kV)*1、0.6 nm*2 3.0 nm (5 kV、WD: 10 mm、5 nA)*1 *1: Gap method、*2:Edge method |
倍率 | ×25 ~ ×1,000,000 |
加速電壓 | 0.01 ~ 30 kV |
探針電流 | 數(shù) pA ~ 500 nA |
檢測(cè)器(標(biāo)配) | 高位檢測(cè)器(UED)、低位檢測(cè)器(LED) |
電子槍 | 浸沒(méi)式肖特基Plus場(chǎng)發(fā)射電子槍 |
光闌角控制鏡 | 內(nèi)置 |
物鏡 | 超級(jí)混合式物鏡/SHL |
自動(dòng)功能 | 自動(dòng)聚焦、自動(dòng)消像散、自動(dòng)調(diào)節(jié)亮度、自動(dòng)調(diào)節(jié)襯度 |
大景深模式(LDF) | 內(nèi)置 |
樣品臺(tái) | 全對(duì)中測(cè)角樣品臺(tái) |
樣品移動(dòng) | X:70mm Y:50mm Z:2 ~ 41mm 傾斜軸:-5 ~ 70° 旋轉(zhuǎn):360° |
馬達(dá)驅(qū)動(dòng) | 5軸馬達(dá)驅(qū)動(dòng) |
樣品交換室 | 直徑: 100mm 高度: 40mm |
抽真空系統(tǒng) | SIP、TMP、RP |