Leica EM ACE600 是一款高真空鍍膜儀,真空泵采用隔膜泵和渦輪分子泵,無油真空系統(tǒng),真空度可達(dá)2×10 -6 mbar。鍍膜細(xì)膩均勻。內(nèi)置石英膜厚檢測(cè)器,可精確控制鍍膜厚度。全自動(dòng)電腦控制,自動(dòng)完成抽真空,鍍膜,放氣等全過程,一鍵操作。采用觸摸屏控制,簡(jiǎn)單方便。
儀器可選離子濺射鍍金屬膜,滿足高分辨場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡(FE-SEM)需求??蛇x碳絲蒸發(fā)鍍碳膜,用于X-射線能譜及波譜分析,或者TEM銅網(wǎng)鍍碳膜。還可以選擇電子束蒸發(fā)方式鍍膜,獲得極其細(xì)膩的金屬膜與碳膜,可用于DNA投影等特殊用途。