KJ-T1200-S50-3Z迷你型CVD管式爐,是一款通過CE認證的可開啟式管式爐,能使樣品加熱到1200℃。配有三路質(zhì)量流量計混氣氣路,配有真空泵真空可達10pa,精確的PID程序多段程序控溫,適用于高校、科研院所、工礦企業(yè)做高溫氣氛燒結(jié)、氣氛還原、CVD實驗、真空退火等試驗。
技術(shù)參數(shù):
型號 | KJ-T1200-S50-3Z |
爐管直徑 | Φ50 |
加熱區(qū) | 200mm |
溫度溫度 | 1200℃,工作溫度1100℃ |
加熱速率 | 0-20℃/min,建議20℃/min |
控溫精度 | ±1℃ |
加熱元件 | 含鉬電阻絲 |
控制方式 | PID智能化多段程序控溫 |
爐管材質(zhì) | 石英管 |
額定電壓 | 110-415V,50/60Hz |
氣路系統(tǒng) | 三路質(zhì)量流量計:手動智能控制,數(shù)字顯示,; 1.MFC 1-MFC3:0-500sccm可調(diào) 2.3個不銹鋼針閥安裝在供氣系統(tǒng)的左側(cè),可手動控制3種氣體; 3.進出氣口:3進1出 4.連接方式:雙卡套連接 |
真空系統(tǒng) | 采用國產(chǎn)真空泵,抽速2.2L/S,真空度可達10pa,真空度數(shù)顯示在數(shù)顯真空計上 |
注意事項 | · 爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa · 由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高,所以向爐管內(nèi)通入氣體時,氣瓶上必須安裝減壓閥,建議在本公司選購減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全 · 當(dāng)爐體溫度高于1000℃時,爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài),爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng),保持在常壓狀態(tài) · 進入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊 · 石英管的長時間使用溫度<1100℃ 對于樣品加熱的實驗,不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱,則需時刻關(guān)注壓力表的示數(shù),若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發(fā)生(如爐管破裂,法蘭飛出等) |
質(zhì)保 | 質(zhì)保一年,終身保修(耗材類:高溫密封圈、爐管、加熱元件等不屬于質(zhì)保范圍) |
1、我公司對所供設(shè)備提供質(zhì)保一年保修服務(wù)(易損件除外),在保修期內(nèi)因設(shè)備質(zhì)量原因造成的設(shè)備損壞或故障,均予以免費維修。保修期滿后,仍提供終身的、優(yōu)質(zhì)的維修服務(wù)。
2、在設(shè)備使用過程中如遇故障的,我公司將盡快做出處理方案,確保設(shè)備正常運行。
3、我公司設(shè)提供免費的設(shè)備操作培訓(xùn)和簡單故障排除維修培訓(xùn)。
4、我公司技術(shù)人員可提供(產(chǎn)品安裝調(diào)試、整機維護、技術(shù)講解及操作指導(dǎo)等)。
5、本公司可提供運輸服務(wù),包裝方式均按照標準安全包裝進行。隨機技術(shù)資料齊全(用戶手冊、保修手冊、有關(guān)資料及配件、隨機工具等)。
6、本公司所有產(chǎn)品均有歐盟CE質(zhì)量認證。