簡要概述：
ST-21型方塊電阻測試儀是一種依照類似的國家標準和美國A.S.T.M標準，專門測量半導(dǎo)體薄層電阻(表面電阻)的新型儀器，可用于測量一般半導(dǎo)體材料、導(dǎo)電薄膜(ITO透明氧化膜)，金屬薄膜……等同類物質(zhì)的薄層電阻。
該儀器以大規(guī)模集成電路為主要核心；用基準電源和運算放大器組成高精度穩(wěn)流源；帶回路有效正常指示電路；并配以大型LCD顯示讀數(shù)，使儀器具有體積小、重量輕、外形美、易操作、測量速度快、精度高的特點。
性能特點：
? 采用大規(guī)模集成電路作為儀器的主要部分，測量準確穩(wěn)定，低功耗；
? 以大屏幕LCD顯示讀數(shù)，直觀清晰；
? 采用單個電池供電，帶電池欠壓指示；
? 體積≤175mm X90mm X42mm，重量≤300g；
? 特制之手握式探筆，球形探針、鍍金探針有效接觸被測材料及保護薄膜 
? 探頭帶抗靜電模塊
技術(shù)指標：
| 測量范圍 | 按方塊電阻量值大小分為二個量程檔： 1. 方塊電阻 1.00～199.99Ω/□； 2. 方塊電阻 10.0～1999.9Ω/□； |
| 恒流源 | 測量過程誤差：≤±0.8% |
| 模數(shù)轉(zhuǎn)換器 | 量程：0～199.99mv； 分辨率：10μv； 方式：LCD大屏幕顯示；極性，超量程均自動顯示；小數(shù)點同步顯示； |
| 測量不確定度 | 在整個量程范圍內(nèi)，測量不確定度≤5% |
| 四探針探頭規(guī)格 | 間距：1mm、1.59mm、3.8mm；偏差≤2%；游移率≤0.3%；絕緣電阻≥500MΩ |
| 電源 | 9V疊層電池1節(jié) |
ST-21方塊電阻測試儀可選配HP系列四探針探頭的型號及規(guī)格：
| 型號 | 曲率半徑 | 壓力 | 探針間距 | 探針排列 |
| HP-501 | 0.5mm | 100g | 3.8mm | 直線 |
| HP-502 | 0.75mm | 100g | 3.8mm | 直線 |
| HP-503 | 0.1mm | 150g | 1mm | 直線 |
| HP-504 | 0.5mm | 100g | 1.59mm | 直線 |
ST-21方塊電阻測試儀可選配SP-601型方型四探針探頭的型號及規(guī)格：
| 型號 | 曲率半徑 | 壓力 | 探針間距 | 探針排列 |
| SP-601 | 0.5mm | 100g | 1.59mm | 方形 |
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