產(chǎn)品描述:
● 鏡臂部分和鏡體分開,使高的樣品觀察成為可能
● 標(biāo)配158X158mm手動(dòng)移動(dòng)載物臺(tái)(可用于200mm晶圓檢查)
● 選配長(zhǎng)工作距離物鏡,極大方便磁頭檢查
● 采用防靜電設(shè)計(jì),極大方便磁頭檢查
● 提高系統(tǒng)靈活性和操作舒適性,滿足SEMI S2/S8標(biāo)準(zhǔn)
UIS (無限遠(yuǎn)矯正) 光學(xué)系統(tǒng)
顯微鏡鏡體:
Z軸同軸粗微調(diào)調(diào)焦,載物臺(tái)行程范圍:32mm(從焦面上行2mm和下行30mm)
行程相同:15mm(配合透射光照明)
Z軸微調(diào)焦每旋轉(zhuǎn)一周的行程0.1mm(1個(gè)單位1μm)
調(diào)焦機(jī)構(gòu)張力可調(diào)
有調(diào)焦上限位機(jī)構(gòu)
照明系統(tǒng):
透射照明:
明視場(chǎng)MX-TILLK照明燈,配備光纖照明附件
(MX-TILLK須與MX-SIC6R2配合使用)