技術(shù)參數(shù) | Ra、Rp、Rv、Rt、Rz、Rq、Rsk、Rku、Rc、Rpc、Rsm、Rmr(C)、tp、Rmr、Rpm、Rz1max、RzJIS、Rmax、Htp、Rδc、RΔq、RΔa、Rk、Rpk、Rvk、Mr1、Mr2、A1、A2、Pa、Pp、Pv、Pt、Pz、Pq、Psk、Pku、Pc、PSm、Pmr(c)、Pmr、Pz1max、PzJIS、Pδc、P△q |
測(cè)量原理 | 電感式 |
測(cè)量范圍 | 400μm |
針尖半徑 | 5μm |
針尖材料 | 金剛石 |
觸針測(cè)力 | 4mN |
觸針角度 | 90° |
導(dǎo)頭縱向半徑 | 45mm |
驅(qū)動(dòng)行程 | 19mm |
量程 | ±25μm、±200μm |
分辨力 | 0.001μm、0.008μm |
濾波方式 | GAUSS、2RC、ISO13565 |
取樣長(zhǎng)度 | 0.25mm、0.8mm、2.5mm、自動(dòng) |
評(píng)定長(zhǎng)度 | 1L~5L(可選,L為取樣長(zhǎng)度) |
示值誤差 | ±10% |
示值重復(fù)性 | ≤6% |
工作環(huán)境溫度 | 0oC~40oC |
外型尺寸及重量 | 主機(jī):155.4mm×75mm×53mm,約580g、驅(qū)動(dòng)器:120.5mm×25.5mm×28.5mm,約165g |
電源 | 內(nèi)置電池:鋰離子充電電池; 電源適配器:輸入:100V240VAC,50/60Hz; 輸出:9V,3A。 |