MATTSON二手刻蝕機(jī) ASPEN III,2006年設(shè)備,light etcher,可對(duì)12英寸晶圓進(jìn)行蝕刻工藝處理。
制造商:MATTSON
型號(hào):ASPEN III
類型:ETCHERS / ASHERS
年份:2006
晶圓尺寸:12"
其他設(shè)備信息:
Light etcher, 12"
Maximum forward RF Power (Set point) Head A to F: 3000
(3) ADVANCED ENERGY RFG-3 RF Generator type chambers




