TOKYOKEISO東京計(jì)裝UCUF-02M液體微小流量超聲波流量計(jì)
液體微小流量超聲波流量計(jì)UCUF-02M，SFC-010L，高溫液體用小口徑超聲波流量計(jì)UCUF-04MT，SFC-010T
TOKYOKEISO東京計(jì)裝UCUF-02M液體微小流量超聲波流量計(jì)
TOKYOKEISO東京計(jì)裝UCUF-02M液體微小流量超聲波流量計(jì)
液體微小流量超聲波流量計(jì)UCUF-02M，SFC-010L，高溫液體用小口徑超聲波流量計(jì)UCUF-04MT，SFC-010T
產(chǎn)品介紹
UCUF-02M/SFC-010L是液體用超聲波流量計(jì)。高精度測(cè)量純水、超純水、各種化學(xué)品等的微小流量。測(cè)量管的直徑為 2.5 mm，涵蓋了傳統(tǒng) UCUF 型超聲波流量計(jì)難以測(cè)量的廣泛微小流量范圍。所有接液部件均采用半導(dǎo)體行業(yè)用PFA制成，具有理想的清潔結(jié)構(gòu)，沒有移動(dòng)部件，也沒有容易積液的密封部件，非常適合半導(dǎo)體制造設(shè)備等要求高清潔度的工藝.流量計(jì)的入口和出口是標(biāo)準(zhǔn)尺寸的管子，可以連接到各種 PFA 接頭。
特征
小口徑
超聲波流量計(jì)成功地測(cè)量了內(nèi)徑為φ2.5mm的管道中超聲波的傳播，而這種管道很難測(cè)量超聲波的傳播。
分鐘流量
最小滿量程設(shè)置范圍：0 至 10 mL/min
電磁兼容標(biāo)準(zhǔn)：EN61326-1
符合 RoHS 標(biāo)準(zhǔn)
測(cè)量運(yùn)動(dòng)粘度高達(dá) 40 mm2/s 的高粘度流體
具有理想清潔結(jié)構(gòu)的探測(cè)器
耐腐蝕且易于安裝
準(zhǔn)確度：示值的±1%以內(nèi)（流速25mL/min以上時(shí)）
主要用途
半導(dǎo)體制造過程中純水和超純水的流量測(cè)量
各種藥液注入工藝的流量測(cè)量
強(qiáng)腐蝕性液體的流量測(cè)量
CMP 漿料流量測(cè)量
其他中小口徑過程液體流量測(cè)量
適用于清洗設(shè)備和 CMP 設(shè)備的流量測(cè)量和控制
UCUF-04MT型高溫超聲波流量計(jì)是UCUF系列超聲波流量計(jì)的改進(jìn)版本，在測(cè)量超純水和各種化學(xué)液體的小流量方面具有良好的記錄。所有接液部件均采用特級(jí) PFA 模壓產(chǎn)品制成，沒有活動(dòng)部件，也沒有 O 形圈等容易積液的機(jī)械密封。由于其理想的清潔結(jié)構(gòu)，該流量計(jì)非常適用于要求清潔度的過程，例如半導(dǎo)體制造設(shè)備。該轉(zhuǎn)換器是薄型 DIN 導(dǎo)軌安裝型。通過采用數(shù)字信號(hào)處理器（DSP）等電子技術(shù)，顯著降低了流體中氣泡的影響，這是半導(dǎo)體工藝、化學(xué)液體工藝等中的一個(gè)問題。此外，通過提高時(shí)間分辨率和加快信號(hào)處理速度，與傳統(tǒng)產(chǎn)品相比，低流量范圍內(nèi)的測(cè)量穩(wěn)定性得到了提高。
特征
節(jié)省能源和空間
SFC-010T 轉(zhuǎn)換器是傳統(tǒng)轉(zhuǎn)換器的纖薄版本。
高速計(jì)算
SFC-010T 具有 10 ms 的高速采樣處理。
大大提高了抗氣泡性
如果流體中含有氣泡，超聲波的傳播將受到阻礙，流量測(cè)量將無(wú)法進(jìn)行。憑借豐富的現(xiàn)場(chǎng)經(jīng)驗(yàn)和DSP信號(hào)處理技術(shù)，我們成功地檢查了接收到的波形，檢測(cè)出氣泡的影響，將其排除在流量計(jì)算之外，消除了因氣泡影響導(dǎo)致的異常輸出。
符合標(biāo)準(zhǔn)
CE（符合 EMC 指令 IEC61326-1：2006）
符合 RoHS
探測(cè)器
兼容 180°C 的流體溫度。
可以測(cè)量高達(dá) 40.0 [mm2/s] 的高粘度流體。
具有理想清潔結(jié)構(gòu)的檢測(cè)器。
耐腐蝕且易于安裝。
轉(zhuǎn)換器功能
零位檢查功能：通過在測(cè)量前執(zhí)行零位檢查，可以在被測(cè)流體的條件下開始測(cè)量。
參數(shù)設(shè)置：各種參數(shù)可通過專用配置軟件進(jìn)行設(shè)置。（另需RS-485通訊轉(zhuǎn)換器。）
流量顯示：配備7段紅色LED（4位）顯示器，顯示流量和狀態(tài)。
主要用途
半導(dǎo)體制造過程中的高溫化學(xué)液體流量測(cè)量
各種化學(xué)供液過程的流量測(cè)量（需要測(cè)量的化學(xué)液體請(qǐng)?zhí)崆奥?lián)系我們）
分鐘流量測(cè)量
