液體流量計UCUF-E系列東京計裝TOKYOKEISO

液體流量計UCUF-E系列東京計裝TOKYOKEISO

液體超聲波流量計UCUF-E系列，UCUF-K系列

產(chǎn)品介紹

UCUF-E系列液體超聲波流量計專為測量超純水和各種化學液體的小流量而設(shè)計，由UCUF-E型檢測器和SFC型轉(zhuǎn)換器組成。
UCUF 型檢測器的所有接液部件均采用半導體行業(yè)用 PFA 制成，沒有活動部件，也沒有
O 形圈等容易積液的機械密封。由于其理想的清潔結(jié)構(gòu)，該流量計非常適用于要求高清潔度的過程，例如半導體設(shè)備。
SFC 型轉(zhuǎn)換器極大地降低了流體中含有的氣泡的影響，這曾經(jīng)是半導體工藝、化學液體工藝等中的一個問題。配備消除流體動力粘度影響的修正功能，支持各種類型的化學品。通過 RS485 通信功能可以集中控制過程。

特征

EMC標準：EN61326-1:2013/EN61326-2-3:2013

符合 RoHS 標準

采用帶連接器結(jié)構(gòu)的可拆卸傳感器電纜

測量運動粘度高達 40 mm2/s 的高粘度流體

指示值±1%以內(nèi)的精度（流速1m/s以上時）

寬量程（100:1 典型值）

具有理想清潔結(jié)構(gòu)的探測器

耐腐蝕且易于安裝

主要用途

半導體制造過程中純水和超純水的流量測量

各種藥液注入工藝的流量測量

強腐蝕性液體的流量測量

CMP 漿料流量測量

其他中小口徑過程液體流量測量

適用于清洗設(shè)備和 CMP 設(shè)備的流量測量和控制

UCUF-K系列液體超聲波流量計是為測量超純水和各種化學液體的小流量而設(shè)計的，由UCUF-K型檢測器和SFC型轉(zhuǎn)換器組成。UCUF 型檢測器的所有接液部件均采用半導體行業(yè)用 PFA 制成，沒有活動部件，也沒有 O 形圈等容易積液的機械密封。由于其理想的清潔結(jié)構(gòu)，該流量計非常適用于要求高清潔度的過程，例如半導體設(shè)備。

特征

EMC標準：EN61326-1:2013/EN61326-2-3:2013

符合 RoHS 標準

測量運動粘度高達 40 mm2/s 的高粘度流體

指示值±1%以內(nèi)的精度（流速1m/s以上時）

寬量程（100:1 典型值）

具有理想清潔結(jié)構(gòu)的探測器

耐腐蝕且易于安裝

主要用途

半導體制造過程中純水和超純水的流量測量

各種藥液注入工藝的流量測量

強腐蝕性液體的流量測量

CMP 漿料流量測量

其他中小口徑過程液體流量測量

適用于清洗設(shè)備和 CMP 設(shè)備的流量測量和控制