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ALD原子層沉積系統(tǒng)粉體包裹系列

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  • 型號
  • 品牌
  • 所在地
  • 更新時間2023-04-10
  • 廠商性質代理商
  • 入駐年限1
  • 實名認證已認證
  • 產品數量64
  • 人氣值433
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    公司用受人尊敬的、專業(yè)的方式來經營公司的業(yè)務(HONOPROF comes from our philosophy---- doing business in an HONOurable and PROFessional way)。 


    公司的主營儀器包括:分子相互作用分析儀器、表/界面分析測試儀器、界面/混凝土流變儀、薄膜沉積與表征儀器等。


公司愿景:
    公司愿意成為深刻了解客戶心理、全面滿足客戶需求,以應用為基礎的專業(yè)儀器設備供應商、專有技術提供商,實現公司在行業(yè)內的超常規(guī)發(fā)展。

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工藝可沉積薄膜種類和應用場景包括:?High-K介電材料(Al2O3,H2O,ZrO2,PrA1Q,Ta205,La2O3)
ALD原子層沉積系統(tǒng)粉體包裹系列 產品詳情

工藝

可沉積薄膜種類和應用場景包括:

? High-K介電材料 (Al2O3, H2O, ZrO2, PrA1Q, Ta205, La2O3);

? 金屬互聯結構 (Cu, WN, TaN, Ru, In);

? 催化材料 (Pt, Ir, Co, TiO2):

? 生物醫(yī)學涂層 (TiN, ZrN, TiAIN, AlTIN);

?金屬(Ru, Pd, Ir Pt, Rh, Co, Cu, Fe, Ni;

? 壓電層 (ZnO, AIN, ZnS);

? 透明電學導體 (ZnO:Al, ITO);

? 光子晶體(ZnO, Ti02, Ta3N5);等



機架Cabinet

?框架采用進口鋁材搭建,重量輕、承載能力強,散熱性好

?外殼采用碳鋼烤漆及圓角處理,輕便美觀,拆卸方便,符合人體工學

?顯示屏360度自由旋轉,可調視距、視角、自由懸停


控制系統(tǒng)

? 控制系統(tǒng)采用 PLC+工控機+19 寸觸摸屏方式實現,系統(tǒng)通過高速以太網進行通訊。

? 采用 PLC 對設備進行實時控制,同時實現基于Windows7 操作系統(tǒng)的人機界面互動,支持歷史數據、工藝配方、報警及日志的儲存和導入導出的功能

? 設備支持“一鍵沉積”功能,點擊運行按鍵即可自動完成真空抽取、升溫、材料沉積、降溫等一系列步驟。實現單一或多層材料的沉積;提供獨立的手動操作頁面,支持手動開關閥門的操作,人機交互同時支持鼠標、鍵盤和觸摸的輸入方式

? 設備運行軟件提供用戶權限管理功能,可根據用戶級別設定使用權限,防止誤操作,保證設備和人身安全

? 設備運行軟件提供邏輯互鎖功能,防止用戶誤操作,并彈出信息對話框進行提示

? 設備運行軟件集成安全及參數配置、IO互鎖列表信息功能



真空系統(tǒng)

? 真空測量采用多真空壓力計組合方式,工藝數據更真實,更迅速,更精確,為工藝人員提供井真的數據采集來源,為工藝的可重復性提供了可靠的保障

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