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ASML是 Advanced Semiconductor Material Lithography的簡稱,中文名稱為阿斯麥(中國大陸)、艾司摩爾(中國臺灣)。艾司摩爾(ASML)為半導體設備供貨商,成立于1984年,是從荷商飛利浦分割出來獨立的半導體設備公司,總部設立于荷蘭的Veldhoven。
ASML為半導體生產(chǎn)商提供光刻機及相關服務,TWINSCAN系列,應用廣泛的光刻機型。目前絕大多數(shù)半導體生產(chǎn)廠商,都向ASML采購TWINSCAN機型,例如英特爾(Intel),三星(Samsung),海力士(Hynix),臺積電(TSMC),中芯國際(SMIC)等。
ASML的產(chǎn)品線分為PAS系列,AT系列,XT系列和NXT系列,其中PAS系列光源為高壓汞燈光源,現(xiàn)已停產(chǎn),AT系列屬于老型號,多數(shù)已經(jīng)停產(chǎn)。市場上主力機種是XT系列以及NXT系列,為ArF和KrF激光光源,XT系列是成熟的機型,分為干式和沉浸式兩種,而NXT系列則是現(xiàn)在主推的機型,全部為沉浸式。