產(chǎn)品特性:
◆無可移動部件
◆支持多種通訊協(xié)議
◆容易安裝及維護(hù)
◆高精度、高穩(wěn)定性、非常低的零漂
◆可控多種氣體
◆一體液晶顯示和按鍵操作
◆內(nèi)置溫度和壓力傳感器
◆可控制氣體瞬時流量和累積流量
應(yīng)用領(lǐng)域:
——分析儀器 ——生物技術(shù)
——激光焊機(jī) ——真空鍍膜
——干刻(RIE/DRIE) ——氣相色譜分析
——過程自動化 ——燃料電池
技術(shù)參數(shù):
流量規(guī)格: 0~5、10、20、50、100、200、300、500SCCM
0~1、2、5、10、20、30、50SLPM
準(zhǔn)確度: ±0.5%F.S.
重復(fù)精度: ±0.2%F.S.
流量控制范圍: 2%~99%F.S.
使用溫度: -20~65℃
使用濕度:0~98%(無凝露)
耐壓: 3Mpa
工作壓差:0~1Mpa
響應(yīng)時間:<1s
供電電壓:15~40VDC
功率:<5W
通訊方式:RS232、RS485、CAN、0~5VDC、4~20mA
氣路部件材質(zhì):SUS304 SUS316L
密封件材質(zhì):氟橡膠
氣路接頭:快擰、快插、卡套、VCR
產(chǎn)品尺寸:
外接顯示器尺寸:
電氣連接: DB9
產(chǎn)品選型:
Pin No. | CAN版 | RS232版 | RS485版 | 0~5VDC版 | 4~20mA版 |
1 | VCC | VCC | VCC | VCC | VCC |
2 | RX | Set | Iin+ | ||
3 | TX | Monitor | Iin- | ||
4 | Alarm | Alarm | Alarm | Alarm | Alarm |
5 | GND | GND | GND | GND | GND |
6 | Clear | Clear | |||
7 | CANH | A | Iout+ | ||
8 | CANL | B | Iout- | ||
9 | DGND | DGND | DGND | DGND | DGND |
產(chǎn)品選型:
例:MFC330_ RS485_300sccm _ 6mm快擰 _ S