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PPR系列過程檢測系統(tǒng)

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  • 型號
  • 品牌
  • 所在地北京市
  • 更新時間2023-03-13
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 入駐年限1
  • 實名認證已認證
  • 產(chǎn)品數(shù)量92
  • 人氣值293
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北京埃光科技有限公司,簡稱“埃光科技”是一家專注于精密光電產(chǎn)品及服務的系統(tǒng)集成公司,創(chuàng)始團隊有十多年的光電行業(yè)經(jīng)驗,對光電儀器上下游都有很深的理解。我們不僅經(jīng)營sCMOS,CCD,EMCCD,ICCD,高速相機,紅外相機,MCP探測器,光柵光譜儀,真空紫外-軟x射線光譜儀等多種光電產(chǎn)品,還和各個環(huán)節(jié)的供應商密切合作,根據(jù)客戶應用需求開發(fā)完整的解決方案,光電儀器是高度專業(yè)化碎片化的行業(yè),我們將以客戶應用為支點,串聯(lián)起行業(yè)上下游持續(xù)開發(fā)更完善更專業(yè)的解決方案,協(xié)同高效發(fā)展以滿足高精尖光電研究分析儀器需求的增長。
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·0.01、0.1、1.0 或 10 Torr 入口壓力·3 × 10 -5 Torr-L/s 流量·2 秒響應時間 (0.1 Torr)·100、200 或 300 amu 系統(tǒng)·6個數(shù)量級的動態(tài)范圍·RGA Windows 軟件
PPR系列過程檢測系統(tǒng) 產(chǎn)品詳情
商品描述

·0.01、0.1、1.0 或 10 Torr 入口壓力

·3 × 10 -5  Torr-L/s 流量

·2 秒響應時間 (0.1 Torr)

·100、200 或 300 amu 系統(tǒng)

·6個數(shù)量級的動態(tài)范圍

·RGA Windows 軟件



PPR 系列過程監(jiān)控系統(tǒng)

PPR 過程監(jiān)控系統(tǒng)專為在線過程監(jiān)控和診斷而設計。為殘余氣體分析儀 (RGA) 提供了兩條路徑:用于監(jiān)測基礎真空的高電導率路徑和用于在工作壓力下監(jiān)測過程的減壓路徑。減壓路徑包含一個微孔,設計用于在以下壓力之一下運行:0.01、0.1、1 或 10 托。它將樣品壓力降低到 RGA 的工作壓力(約10-6 Torr)。該壓降由由混合渦輪分子泵和隔膜泵組成的泵送系統(tǒng)維持。兩個泵都是無油的,不會污染您的過程。

連接到您的工藝室的入口組件可以通過多種方式進行配置(參見圖紙)。該系統(tǒng)包括 RGA、旁通閥組件和三通、控制器、渦輪泵、隔膜泵和用于數(shù)據(jù)采集和控制的 Windows 軟件程序。

該軟件用于在各種模式下操作儀器,包括模擬掃描、直方圖模式和壓力與時間模式。法拉第杯和電子倍增器探測器都是 PPR 系統(tǒng)的標準配置。電子倍增器提供額外的靈敏度和更高的掃描速度。PPR 系統(tǒng)在出廠時已組裝和校準,可以連接到您的真空處理室。

幾何A

幾何 B



PPR 規(guī)格

表現(xiàn)

氣體流量3 × 10 -5 mbar-L/s,減壓入口處于活動狀態(tài)
響應時間0.1 mbar 入口壓力下 2 秒(隨壓力成線性比例)
啟動時間標稱 8 分鐘

連接

進口2.75" CF法蘭,帶通孔可旋轉(zhuǎn)
渦輪泵到控制器6 英尺電纜(已提供)
渦輪增壓到前級泵6 英尺軟管(提供),
1/4" ID × 7/16" OD
電腦接口RS-232C(28,800 波特,9 針 D 連接器)
軟件RGA Windows 應用程序

高真空混合渦輪分子/阻力泵,70 L/s,
極限壓力2 × 10 -9  mbar
后盾極限壓力小于 1 mbar 的隔膜泵。防護等級 IP44
冷卻需要強制風冷

一般的

電源要求110 VAC @ 60 Hz,
220 VAC @ 50 Hz
(不可現(xiàn)場選擇,300 W)
方面因配置而異
(請參閱示例配置)
重量16 磅。(渦輪泵、旁通閥和三通,RGA)
33 磅。(隔膜泵和控制器)
保修單一年零件和人工材料或工藝缺陷。泵密封件和隔膜的保修期為 90 天。


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