LZU系列超高真空兼容性直線運動模組可以為幾公斤的負(fù)載提供長行程直線位移。高精度滾珠導(dǎo)軌適用于扭轉(zhuǎn)載荷較小的簡單復(fù)合機構(gòu)中。平滑的運動由高精度滾珠絲桿搭配精密滾珠螺母提供，以確保良好的位置穩(wěn)定性，并包含預(yù)加載絲桿螺母以消除齒隙。傳動部分配合低飽和蒸氣壓潤滑脂，使運動更加平滑且不對真空度造成影響。驅(qū)動方式采用真空步進(jìn)電機，可選擇安裝限位開關(guān)或脈沖信號位置控制方式。產(chǎn)品采用超高壓兼容材料和加工方法，避免材料對使用環(huán)境造成的影響。
產(chǎn)品特點
一體化設(shè)計，尺寸緊湊、機械剛度高、重復(fù)定位精度高；
形成范圍可在50至500mm；
適用于常溫至200℃的高溫范圍；
可應(yīng)用于10-7Pa至常壓的環(huán)境中；
傳動方式采用精密滾珠絲桿；
重復(fù)定位精度±0.05mm；
分辨率可達(dá)5μm/step;
負(fù)載能力可達(dá)30kg；
可堆疊用于XYZ；
可根據(jù)要求定制非標(biāo)形成或結(jié)構(gòu)；
可提供二維、三維或龍門結(jié)構(gòu)整體解決方案；
規(guī)格說明書
描述 | 單位 | LZUV | LZUL | |
行程 | mm | 50/100/200/250/300/350/400/450/500 | ||
速度 | mm/s | 15 | 4 | |
低壓下建議加速度 | mm/s2 | 2 | 0.8 | |
重復(fù)精度 | μm | 0.5 | 1 | |
中心負(fù)載 | Kg | 30 | ||
負(fù)載扭矩 | Nm | ＜6 | ||
導(dǎo)程 | mm | 6 | ||
軸向負(fù)載（500Hz，1A） | kg | 7 | 12 | |
直線度 | μm | ＜2μm/100mm | ||
使用環(huán)境極限真空 | Mbar | 1×10-7pa | ||
使用環(huán)境極限溫度 | ℃ | 200 | ||
50mm行程重量 | Kg | 1 | 1.5 | |
每增加50mm行程重量 | Kg | 0.35 | ||
LZUV-直連電機尺寸圖
LZUL-緊湊電機尺寸圖
訂購信息
LZUV-xxx | Xxx=行程（mm）； |
LZUV-xxx-S | Xxx=行程（mm）；附帶2只限位開關(guān)； |
LZUV-xxx-E | Xxx=行程（mm）；光學(xué)編碼器； |
LZULxxx | Xxx=行程（mm）； |
LZUL-xxx-S | Xxx=行程（mm）；附帶2只限位開關(guān)； |
LZUL-xxx-E | Xxx=行程（mm）；光學(xué)編碼器； |
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