住友的臭氧發(fā)生器采用平板式放電電池,通過電力將氧氣轉(zhuǎn)化為臭氧。放電室由高純度陶瓷組成,以防止金屬污染達(dá)到極低水平。臭氧濃度超過400g/(n),是市場上的上等產(chǎn)品。在半導(dǎo)體、FDP等電子器件材料的干濕加工過程中受到了眾多客戶的高度重視。
住友臭氧超純水裝置
應(yīng)用:
半導(dǎo)體器件
Si/復(fù)合晶圓
FDP(LTPS、HTPS、TFT、彩色濾光片、OLED)
光罩
發(fā)光二極管
具體信息:
臭氧氣體流速 | 5 to 150ppm |
臭氧氣體供應(yīng)壓力 | *大0.25MPa |
臭氧化超純水流量 | 1 to 90L/min |
原料氣 | 氧、氮、二氧化碳 |
功率 | 200-220VAC, 3-phase |
優(yōu)勢:
濃度高,流量大
占地面積小,緊湊
運(yùn)行成本低(功耗低,易損件數(shù)量少,放電單元壽命長)
高壓耐受,長壽命放電單元
快速啟動,快速響應(yīng)
與臭氧監(jiān)測儀(閉環(huán)控制)集成的穩(wěn)定濃度
CE、NRTL、半標(biāo)準(zhǔn)適用
關(guān)閉期間免維護(hù)
無氮臭氧