- 產(chǎn)品描述
GK100擴(kuò)散泵高真空機(jī)組系統(tǒng)是由VRD-16前級機(jī)械泵、擴(kuò)散泵、高真空閥、前級管路，冷凝器、高真空檢測系統(tǒng)（復(fù)合真空計）等組裝于機(jī)架上而成的清潔超高真空獲得設(shè)備。該機(jī)組的真空度可達(dá)到5X10-3 Pa(即0.005Pa)，安裝方便，操作簡單，易于連接，性能可靠，可廣泛用于表面分析、釬焊、真空熱處理、真空熔煉、加速器技術(shù)、半導(dǎo)體設(shè)備、等離子體技術(shù)、電真空器件的制造及真空技術(shù)各領(lǐng)域。
一、機(jī)組技術(shù)參數(shù)
1、機(jī)組輸入電壓：220V/380V
2、波紋管：KF40*1000mm
3、真空擋板閥：KF40
4、機(jī)箱尺寸：600*600*600mm
二、擴(kuò)散泵技術(shù)參數(shù)
擴(kuò)散泵
擴(kuò)散泵型號
K150
入口直徑
150mm
抽氣速率L/S（對空氣）
1000L
建議啟動壓強(qiáng)
＜10 Pa
極限壓強(qiáng)（Pa）
7×10-5
排氣口法蘭
KF40
功率
1.2KW
輸入電壓頻率（V/Hz）
220V
環(huán)境溫度（℃）
0～40
前級泵型號
FX-16
冷卻方式
水冷
冷卻水溫度（℃）
<25
安裝方式
垂直
注油量
0.3L
重量（公斤）
40
產(chǎn)品型號
FFX-16
三、真空泵參數(shù)
擴(kuò)散泵泵前級真空泵FFX-16
(擴(kuò)散泵必須要配此前級泵)
功率
0.75KW
電壓
380V
轉(zhuǎn)速
1450rpm
進(jìn)氣口徑
KF25/KF40
前機(jī)泵抽氣速率（L/S）
4
極限壓強(qiáng)
4X10 -2Pa
四、復(fù)合真空計技術(shù)參數(shù)
復(fù)合真空計
復(fù)合真空計型號
ZDF
電源
220V 55W
控制精度
± 1%
真空計測量范圍
10-5 -10 5 Pa
ZDF型系列電阻/電離復(fù)合真空計是基于低真空測量電阻單元(ZJ-52T電阻規(guī))與高真空測量電離單元(ZJ-10電離規(guī))技術(shù)組合，以完成1×105~1×10-4Pa連續(xù)測量與控制。因此該真空計系列具有電阻真空計與電離真空計所有技術(shù)參數(shù)與性能特點。該真空計系列具有兩種工作模式：手動模式與自動模式。手動模式工作時，相當(dāng)于獨立的電阻真空計和電離真空計；自動模式工作時，首先電阻單元進(jìn)入測量，當(dāng)電阻單元測量真空度高于電離規(guī)可以開啟的真空度時，電離規(guī)燈絲自動被點亮(開啟)，并進(jìn)入高真空測量，實現(xiàn)了從大氣壓(常壓)到高真空的自動連續(xù)測量。還增加了外設(shè)(PLC)開閉電離規(guī)功能，以實現(xiàn)電離規(guī)工作于真空環(huán)境，以延長電離規(guī)工作壽命。
